电子枪种类: 钨灯丝
产地类别: 进口
二次电子图象分辨率: 3.0 nm @ 30 keV
放大倍数: 1~1,000,000x
加速电压: 200V~30KV,连续可调
背散射电子图像分辨率: 3.5 nm @ 30 keV (低真空模式)
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TESCAN VEGA3钨灯丝扫描电镜
VEGA系列的设计适合各种SEM应用及当今研究和工业的需求。经过10多年的不断发展,TESCAN已经成功开发、研制和制造了VEGA的第三代产品。新一代的VEGA给用户带了最新的技术优势,包括改进的高性能电子设备使成像速度更快,包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统,内置的编程软件等,使VEGA系列产品保持着非常高的性价比。
LaB6发射源
TESCAN能提供介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6(六硼化镧)作为电子发射源。LaB6的优势包括:稳定的电子发射源(与场发射电子源相比),在阴极较低温度下可获取比较高的束流(与钨灯丝电子源相比)。这就意味着在整个范围的加速电压和很长的使用寿命中,LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的发射电流,LaB6是需要大电子束流应用领域的正确选择。
现代电子光路
独特的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式
以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器"
透镜与线圈的优质材料使成象率达到20ns/像素,并减少了动态扭曲效应
结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™),可模拟和优化电子束
镜筒设计提供了全自动电子光路设置,镜筒不含机械对中结构
3维电子束技术提供了实时立体图像
检修方便
只要很短的停机检查后就能保持电镜长时间处于最佳状态。每个细节设计得很仔细,使得仪器的效率最大化,操作最简化。
自动操作
通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间,并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言(Python)用户可以进入软件大多数功能,包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。
用户界面友好的软件
用户界面有各种语言版本
多用户界面(包括了EasySEMTM模式)不同账户的权利使常规分析过程更快
图像文件管理与报告生成
内置的自动系统检查
通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断
模块化软件体系结构
标准的软件模块包括了:测量工具、图像处理、对象区域等
选配软件包括了:颗粒度分析、三维表面重构等
TESCAN VEGA3超大样品室钨灯丝扫描电镜(GM)
分析潜力:
GM样品室配备有5轴马达驱动样品台
多于20个接口,优化的几何设计更适合安装能谱仪(EDS)、波谱仪(WDX)、电子背散射衍射(EBSD)
一流YAG闪烁器式探头
可选各种探头和配件
涡轮分子泵和机械泵同时工作,几分钟即可达到仪器操作需要的真空状态
在可变真空模式下可观测不导电的样品(XMU型号)
可选样品室减振方式
3维Metrology软件提供了三维重构与3维测量功能
VEGA3配置:
GM型号适合观测大样品。
VEGA3 GMH
超大样品室,高真空模式,适用于观测大型导电材料。
VEGA3 GMU
可变真空式扫描电镜,体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品,不需要喷金。
软件(标配):
测量
图象处理
3维扫描
硬度测量
多图像校准
对象区域
自动关机时间
公差
编程软件
定位
投影面积
EasySEMTM
配件:
二次电子探头(SE),ET型二次电子探头(YAG 闪烁体)
可移动式背散射电子探头(RBSE)*,可移动环行闪烁体类(YAG)具有高灵敏度和原子序数分辨率(0.1Z)
低真空二次电子探头
探针电流测量
压差式防碰撞报警装置
可观察样品室内部的红外线摄像头
冷台等,各种配件可供选择
最多添加5台