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半导体&电子测试测量，投稿：kangpc@instrument.com.cn
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据泰州日报报道，靖江先锋半导体科技有限公司实现了大规格集成电路晶圆刻蚀机核心部件国产化，并将配套全球首条5纳米芯片生产线。
报道指出，先锋半导体公司总经理游利介绍，喷淋盘是芯片制造设备刻蚀机的主要部件，先锋半导体产品将用于中微半导体公司生产的5纳米刻蚀机，并应用于台积电全球首条5纳米制程生产线。
资料显示，先锋半导体成立于2008年，是一家从事半导体器件、集成电路专用设备及零部件、航空和高端装备精密部件研发、制造、销售、服务于一体的国家高新技术企业，产品主要应用在刻蚀机、镀膜机等集成电路装备，供应给国内外半导体行业OEM厂商，是中国半导体行业精密零部件的主要制造商。
2008年成立之初，先锋半导体便与中国半导体设备知名厂商中微半导体展开合作。2018年底，中微半导体突破欧美封锁，成功研发出5纳米芯片刻蚀机，其中的主要部件喷淋盘，就是先锋半导体研发生产的。目前，先锋半导体已成为中芯国际、中微半导体、北方华创、北方微电子等国内半导体企业的重要供应商。
游利表示，下一步，先锋将在半导体装备关键零部件国产化替代、本地化研发领域，坚定走“专精特新”发展之路。同时，瞄准行业前沿，用国际化的眼光对标、赶超行业先进，致力打造全球有竞争力的精密制造专家。
[来源：全球半导体观察]
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