核心参数
仪器种类: 纳米压痕仪
产地类别: 进口
最大压痕深度: ≥5um
有效加载载荷范围: ≥10 mN
有效载荷分辨率: 纵向载荷分辨率≤1nN横向载荷分辨率<50nN
可实现位移范围: 纵向最大位移范围:≥5um
位移分辨率: 纵向位移分辨率≤0.005nm 横向位移分辨率<0.02nm
热漂移: 热漂移水平<0.05nm/s
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