VERTEX系列傅立叶红外光谱仪集布鲁克公司35年来技术创新与发展之大成,将红外光谱技术推向一个新的高峰。极具远见性的光学平台设计,为广泛的功能扩展及未来全方位的升级奠定了有力的基础,使VERTEX系列光谱仪成为红外光谱业界巅峰领域各项应用的首选。
室温硅材料中碳、氧的定量分析
傅立叶红外技术可以快速、灵敏、无损地分析硅材料中的碳、氧含量,因此它在硅材料质量控制领域被广泛接受
和应用。布鲁克在这个前沿领域拥有和积累了几十年的经验,并结合布鲁克VERTEX 系列傅立叶红外光谱仪推出 了业内最专业和最与时俱进的完整分析方案。
ü 根据ASTM/SEMI MF1391标准,建立了室温 硅中代位碳原子含量分析方法。
ü 根据ASTM/SEMI MF1188标准,建立了室温 硅中间隙氧含量分析方法。
ü 可达最低检出限: < 400ppba
ü 建议的样品特征:
厚度0.5-2.5 毫米 (最理想:约1.5 毫米)
双面抛光
单晶或多晶型
l 聚合物与化学
远红外谱区识别聚合物复合材料中的无机填料 (BRUKER FM)
聚合物动态和流变学研究
测定挥发性化合物及表征热分解过程 (TGA-FTIR)
反应监测和反应控制 (中红外光纤探头)
识别无机矿物质和颜料
l 研发
用于时间分辨以及幅度调制(AM)相位调制(PM)光谱的连续和步进扫描技术 (步进扫描 / 快速扫描 / 交叉扫描时间分辨光谱 TRS)
超高真空中的FT-IR光谱分析
用于电极表面和电解质的原位研究的FT-IR光谱电化学
蛋白质水溶液研究 (CONFOCHECK)
确定分子的绝对构型 (VCD)
l 制药
通对药物产品的稳定性和挥发物含量进行表征 (TGA-FT-IR)
远红外谱区区分活性药物成分的多晶型物 (BRUKER FM)
l 材料科学
光学和高反射材料(光窗、反射镜)的表征
通过光声光谱学(PAS)研究深色物质和深度剖析
材料的发射行为表征
l 半导体
硅晶圆中氧和碳含量的测定进行质量控制