热丝CVD金刚石设备
研发设计制造了热丝CVD金刚石设备,分为实验型设备和生产型设备两类。
设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜、硬质合金基金刚石涂层刀具、陶瓷轴承内孔镀金刚石薄膜等。例如可用于生产制造环保领域污水处理用的耐腐蚀金刚石导电电极。
可用于平面工件的金刚石薄膜制备,也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。
平面工作尺寸
圆形平面工作的尺寸:最*大φ650mm。
矩形工作尺寸的宽度600mm/长度可根据镀膜室的长度确定(如:工件长度1200mm)。
配置冷水样品台。
热丝电源功率
可达300KW,1KW ~300KW可调(可根据用户工艺需求配置功率范围)
设备安全性
-电力系统的检测与保护
-设置真空检测与报警保护功能
-冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护
-设置水压检测与报警保护装置
-设置水流检测报警装置
设备构成
真空室构成
双层水冷结构,立式圆形、立式D形、立式矩形、卧式矩形,前后开门,真空尺寸,根据工件尺寸和数量确定。
热丝
热丝材料:钽丝、或钨丝
热丝温度:1800℃~ 2500℃ 可调
样品台
可水冷、可加偏压、可旋转、可升降 ,由调速电机控制,可实现自动升降,(热丝与衬底间距在5 ~ 100mm范围内可调),要求升降平稳,上下波动不大于0.1mm。
工作气路(CVD)
工作气路根据用户工艺要求配置:
下面气体配置是某一用户的配置案例。
H2(5000sccm,浓度*100*%)
CH4(200sccm,浓度*100*%)
B2H6(50sccm,H2浓度99%)
Ar(1000sccm,浓度*100*%)
真空获得及测量系统
控制系统及软件
实验型 热丝CVD金刚石设备
单面热丝CVD金刚石设备
双面热丝CVD金刚石设备
生产型热丝CVD金刚石设备
可制备金刚石面积-宽650*1200mm
可制备金刚石φ 650mm
1-3-6-3-2-7-5-0-0-1-7
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