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粉丝量 0
核心参数
加热方式： 其它
应用领域： 半导体
产地类别： 国产
沉积速率： 详见产品简介
沉积薄膜种类： 详见产品简介
控制气体： 详见产品简介
背底真空： 详见产品简介
工作气压： 详见产品简介
内部尺寸： 详见产品简介
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热丝CVD金刚石设备
研发设计制造了热丝CVD金刚石设备，分为实验型设备和生产型设备两类。
设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜、硬质合金基金刚石涂层刀具、陶瓷轴承内孔镀金刚石薄膜等。例如可用于生产制造环保领域污水处理用的耐腐蚀金刚石导电电极。
可用于平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。
平面工作尺寸
圆形平面工作的尺寸：最*大φ650mm。
矩形工作尺寸的宽度600mm/长度可根据镀膜室的长度确定（如：工件长度1200mm）。
配置冷水样品台。
热丝电源功率
可达300KW，1KW ～300KW可调（可根据用户工艺需求配置功率范围）
设备安全性
-电力系统的检测与保护
-设置真空检测与报警保护功能
-冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护
-设置水压检测与报警保护装置
-设置水流检测报警装置
设备构成
真空室构成
双层水冷结构，立式圆形、立式D形、立式矩形、卧式矩形,前后开门，真空尺寸,根据工件尺寸和数量确定。
热丝
热丝材料：钽丝、或钨丝
热丝温度：1800℃～ 2500℃ 可调
样品台
可水冷、可加偏压、可旋转、可升降 ，由调速电机控制，可实现自动升降，（热丝与衬底间距在5 ～ 100mm范围内可调），要求升降平稳,上下波动不大于0.1mm。
工作气路（CVD）
工作气路根据用户工艺要求配置：
下面气体配置是某一用户的配置案例。
H2(5000sccm，浓度*100*%)
CH4(200sccm，浓度*100*%)
B2H6（50sccm，H2浓度99%）
Ar(1000sccm，浓度*100*%)
真空获得及测量系统
控制系统及软件
实验型 热丝CVD金刚石设备
单面热丝CVD金刚石设备
双面热丝CVD金刚石设备
生产型热丝CVD金刚石设备
可制备金刚石面积-宽650*1200mm
可制备金刚石φ 650mm
企业名称
鹏城半导体技术(深圳)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300MA5H0RXA7M
成立日期
2021-09-27
注册资本
1063.8298
经营范围
鹏城半导体技术(深圳)有限公司于2021年09月27日成立。法定代表人刘军，公司经营范围包括：一般经营项目是:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;新材料技术研发;新材料技术推广服务;真空镀膜加工;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;电子真空器件制造;电子真空器件销售;半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;半导体分立器件制造;半导体分立器件销售;机械设备租赁;软件开发;工业设计服务;教育咨询服务(不含涉许可审批的教育培训活动);会议及展览服务;广告设计、代理;广告制作;仪器仪表修理;化工产品销售(不含许可类化工产品);新型金属功能材料销售;仪器仪表销售;电子产品销售;通讯设备销售等。
鹏城半导体技术（深圳）有限公司
公司地址
深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区3号楼304
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公司名称： 鹏城半导体技术（深圳）有限公司
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