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核心参数
仪器种类： 热蒸发镀膜机
应用领域： 其它
产地类别： 国产
靶材： 详见产品简介
基片尺寸： 详见产品简介
基片温度范围： 详见产品简介
成膜厚度均匀性： 详见产品简介
极限真空： 详见产品简介
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高真空电阻热蒸发镀膜机（高真空镀膜机）采用电阻热蒸发技术，它是在高真空条件下，通过加热材料的方法，在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜。可用于生产和科学实验，可根据用户要求专门订制；可用于材料的物理和化学研究；可用于制备金属导电电极；可用于有机材料的物理化学性能研究实验、有机半导体器件的原理研究实验、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池研究实验等。
设备构成
-单镀膜室
-单镀膜室＋进样室
-单镀膜室＋手套箱（可将镀膜室放在手套箱内）
-单镀膜室＋进样室＋手套箱（可将镀膜室放在手套箱内）
-多镀膜室＋样品传递室＋手套箱（组成团簇式结构，样品传递采用真空机械手）
设备组成
电阻热蒸发源组件、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵（或冷泵）真空机组、旋转基片加热台、工作气路、手套箱连接部件、样品传递机构，膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。
热蒸发源类型和数量，可根据用户需要进行配置。
可选件：膜厚监控仪，恒温制冷水箱。
热蒸发源种类及配置
电阻热蒸发源组件：数量：1～12套（可根据用户要求配装）；
电阻热蒸发源种类：钽（钨或钼）金属舟热蒸发源组件、石英舟热蒸发源组件、钨极或钨蓝热蒸发源组件、钽炉热蒸发源组件（配氮化硼坩埚或陶瓷坩埚）、束源炉热蒸发组件（配石英坩埚或氮化硼坩埚）。
高真空电阻热蒸发镀膜机（高真空镀膜机） 工作条件（实验室应具备的设备工作条件）
供电：4kW，三相五线制～ AC 380V
工作环境湿度：10℃～ 40℃
工作环境温度：≤50%
冷却循环水：0.2m3/h，水温18℃～ 25℃
水压：0.15MPa ～ 0.25MPa
真空性能
极限真空：7×10-5Pa～7×10-6Pa
设备总体漏放率：关机12小时，≤10Pa
操作方式
手动、半自动
企业名称
鹏城半导体技术(深圳)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300MA5H0RXA7M
成立日期
2021-09-27
注册资本
1063.8298
经营范围
鹏城半导体技术(深圳)有限公司于2021年09月27日成立。法定代表人刘军，公司经营范围包括：一般经营项目是:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;新材料技术研发;新材料技术推广服务;真空镀膜加工;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;电子真空器件制造;电子真空器件销售;半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;半导体分立器件制造;半导体分立器件销售;机械设备租赁;软件开发;工业设计服务;教育咨询服务(不含涉许可审批的教育培训活动);会议及展览服务;广告设计、代理;广告制作;仪器仪表修理;化工产品销售(不含许可类化工产品);新型金属功能材料销售;仪器仪表销售;电子产品销售;通讯设备销售等。
鹏城半导体技术（深圳）有限公司
公司地址
深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区3号楼304
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