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核心参数
仪器种类： 电子束蒸发镀膜机
应用领域： 其它
产地类别： 国产
靶材： 详见产品简介
基片尺寸： 详见产品简介
基片温度范围： 详见产品简介
成膜厚度均匀性： 详见产品简介
极限真空： 详见产品简介
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高真空电子束蒸发镀膜机是在高真空条件下，采用电子束轰击材料加热蒸发的方法，在衬底上镀制各种金属、氧化物、导电薄膜、光学薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬膜等；可镀制混合物单层膜、多层膜或掺杂膜；可镀各种高熔点材料。
可用于生产、科学实验及教学，可根据用户要求专门订制。
可根据用户使用要求，选配石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式, 通过PLC 和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制, 包括真空系统、烘烤系统、蒸发过程和膜层厚度的监控功能等，从而提高了工作效率和保证产品质量的一致性和稳定性。
设备特点
设备具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点，配备 E 型电子束蒸发源和电阻蒸发源。PID自动控温，具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。
可根据用户使用要求，选配石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式,通过PLC和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制,包括真空系统、烘烤系统、蒸发过程和膜层厚度的监控功能等，从而提高了工作效率和保证产品质量的一致性和稳定性。
真空性能
极限真空：7×10-^5Pa～7×10^-6Pa
设备总体漏放率：关机12小时，≤10Pa
恢复工作真空时间短，大气至7×10-4Pa≤30分钟；
设备构成
E 型电子束蒸发枪、电阻热蒸发源组件（可选配）、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵真空机组或低温泵真空机组、旋转基片加热台、工作气路、样品传递机构，膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。
可选件：膜厚监控仪，恒温制冷水箱。
热蒸发源种类及配置
E 型电子束蒸发系统 1套
功率 6kW～10kW 其它功率(可根据用户要求选配）
坩埚 1～8只 可根据用户要求选配
电阻热蒸发源组件 1～4套 （可根据用户要求配装）
电阻热蒸发源种类
-钽（钨或钼）金属舟热蒸发源组件
-石英舟热蒸发源组件
-钨极或钨蓝热蒸发源组件
-钽炉热蒸发源组件（配氮化硼坩埚或陶瓷坩埚）
-束源炉热蒸发组件（配石英坩埚或氮化硼坩埚）
操作方式
手动、半自动
企业名称
鹏城半导体技术(深圳)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300MA5H0RXA7M
成立日期
2021-09-27
注册资本
1063.8298
经营范围
鹏城半导体技术(深圳)有限公司于2021年09月27日成立。法定代表人刘军，公司经营范围包括：一般经营项目是:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;新材料技术研发;新材料技术推广服务;真空镀膜加工;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;电子真空器件制造;电子真空器件销售;半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;半导体分立器件制造;半导体分立器件销售;机械设备租赁;软件开发;工业设计服务;教育咨询服务(不含涉许可审批的教育培训活动);会议及展览服务;广告设计、代理;广告制作;仪器仪表修理;化工产品销售(不含许可类化工产品);新型金属功能材料销售;仪器仪表销售;电子产品销售;通讯设备销售等。
鹏城半导体技术（深圳）有限公司
公司地址
深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区3号楼304
客服电话
公司名称： 鹏城半导体技术（深圳）有限公司
公司地址： 深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区3号楼304 联系人： 戴小姐 邮编： 518000
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