核心参数
加热方式: 其它
应用领域: 半导体
产地类别: 国产
沉积速率: 详见说明书
沉积薄膜种类: 详见说明书
控制气体: 详见说明书
背底真空: 详见说明书
工作气压: 详见说明书
内部尺寸: 详见说明书
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材料的输运采取了超纯的气路系统,源的切换和输入采用了多路组合阀进气技术。由于组合阀具有极小的死空间,使得源的残留量非常少,有利于生长具有陡峭界面的材料。
采用压差控制技术控制组合阀的旁路和主路之间的压力,大大降低了源的压力和浓度波动,有利于材料生长的重复性和稳定性。
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采用电阻式快速升降温加热炉。
企业名称
鹏城半导体技术(深圳)有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300MA5H0RXA7M
成立日期
2021-09-27
注册资本
1063.8298
经营范围
鹏城半导体技术(深圳)有限公司于2021年09月27日成立。法定代表人刘军,公司经营范围包括:一般经营项目是:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;新材料技术研发;新材料技术推广服务;真空镀膜加工;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;电子真空器件制造;电子真空器件销售;半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;半导体分立器件制造;半导体分立器件销售;机械设备租赁;软件开发;工业设计服务;教育咨询服务(不含涉许可审批的教育培训活动);会议及展览服务;广告设计、代理;广告制作;仪器仪表修理;化工产品销售(不含许可类化工产品);新型金属功能材料销售;仪器仪表销售;电子产品销售;通讯设备销售等。
鹏城半导体技术(深圳)有限公司
公司地址
深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区3号楼304
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