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深圳市矢量科学仪器有限公司

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CCP介质刻蚀机

品牌：北方华创

产地：北京

型号： NMC 508系列 CCP

报价：面议

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核心参数

产地类别：国产

产品介绍

简介

NMC 508系列 CCP介质刻蚀机采用多频解耦设计，实现优异的均匀性和高深宽比介质刻蚀效果，适用于Si power、SiC Power、GaN Power、MEMS、硅光等多种领域。该设备覆盖多种刻蚀工艺，具备良好的灵活性和量产稳定性，并兼容6/8英寸晶圆，适用于科研和大规模生产。

1. 产品概述

NMC 508系列 CCP介质刻蚀机，多频解耦设计，实现优异的均匀性及高深宽比介质刻蚀。

2. 设备用途/原理

NMC 508系列 CCP介质刻蚀机，多频解耦设计，实现优异的均匀性及高深宽比介质刻蚀。应用域广泛，涵盖Si power、SiC Power、GaN Power、MEMS、硅光等。工艺种类覆盖道HM刻蚀、CT刻蚀、Spacer刻蚀，后道Via刻蚀、PAD刻蚀。灵活的系统配置，适合研发、中试线、大规模生产线的不同应用。采用Clean Mode量产，道、后道均可实现优异的量产稳定性及更高的MTBC。

3. 设备特点

晶圆尺寸 6/8 英寸兼容。适用材料氧化硅、氮化硅、氮氧化硅。适用工艺钝化层刻蚀、硬掩膜刻蚀、接触孔刻蚀、导线孔刻蚀、侧衬刻蚀、回刻、自对准刻蚀。适用域科研、集成电路、化合物半导体。

售后服务

产品货期： 60天

整机质保期： 1年

培训服务：安装调试现场免费培训

问商家

北方华创湿法刻蚀设备NMC 508系列 CCP的工作原理介绍

湿法刻蚀设备NMC 508系列 CCP的使用方法?

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湿法刻蚀设备NMC 508系列 CCP使用的注意事项？

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北方华创湿法刻蚀设备NMC 508系列 CCP的操作规程有吗？

北方华创湿法刻蚀设备NMC 508系列 CCP报价含票含运吗？

北方华创NMC 508系列 CCP有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

400-860-5168转5919

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深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创CCP介质刻蚀机NMC 508系列 CCP，北方华创NMC 508系列 CCP产地为北京，属于国产湿法腐蚀/刻蚀设备，除了CCP介质刻蚀机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法腐蚀/刻蚀设备,客服电话400-860-5168转5919，售前、售后均可联系。

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