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核心参数
产地类别: 国产
展位推荐
深硅刻蚀机
AL实时监控器
等离子刻蚀集群系统
单片湿法刻蚀机
1. 产品概述:
HSE M200主要用于4/6/8英寸深硅干法刻蚀工艺。可以配置手动及自动传输系统。产品配置高密度双立体等离子体源,中心边缘进气,快速气体切换,低频脉冲下电极系统,可以实现高速、高深宽比、高均匀性及极小的侧壁粗糙度。HSE P300主要用于12英寸硅刻蚀。采用Cluster结构布局,能够减小占地,提升产能。系统主要由传输模块、工艺模块、灰区部件、电源柜等组成。可实现自动化地上下料及自动工艺。
2. 设备应用:
HSE M200
晶圆尺寸:
8英寸及以下
适用材料:
硅、SOI、SOG
适用工艺:
深硅刻蚀
适用领域:
微机电系统、科研领域
HSE P300
8/12英寸兼容
硅、氧化硅、氮化硅
深槽刻蚀、深孔刻蚀、扇出型封装硅载体刻蚀、露铜刻蚀等
先进封装
3.设备特点
双等离子源和双区进气,保证高刻蚀均匀性和高刻蚀速率
兼容性强,工艺种类多样,应用领域广泛,系统可靠性强
灵活的系统配置,适合研发、中试线、大规模生产线的不同应用
低拥有成本和运营成本
使用立体高密度等离子源,大幅提升刻蚀速率
双等离子源和双区进气,确保较高的均匀性
全自动化软件控制,高产能
北方华创湿法刻蚀设备HSE的工作原理介绍
湿法刻蚀设备HSE的使用方法?
北方华创HSE多少钱一台?
湿法刻蚀设备HSE可以检测什么?
湿法刻蚀设备HSE使用的注意事项?
北方华创HSE的说明书有吗?
北方华创湿法刻蚀设备HSE的操作规程有吗?
北方华创湿法刻蚀设备HSE报价含票含运吗?
北方华创HSE有现货吗?
企业名称
深圳市矢量科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91440300MA5G1QDA16
成立日期
2020-01-10
注册资本
500万人民币
经营范围
散热材料的研发与销售;增减材制造设备的研发与销售;电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修;系统集成;办公室用品批发;实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品);国内贸易,货物及技术进出口;工程技术咨询服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让;一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营);仪器仪表制造;实验分析仪器制造;通用设备制造(不含特种设备制造)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动);普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);国内货物运输代理;装卸搬运;工程技术服务(规划管理、勘察、设计、监理除外);通讯设备修理;运输货物打包服务;仪器仪表修理;信息系统集成服务;基于云平台的业务外包服务;金属制品修理;电气设备修理;通用设备修理;专用设备修理;通信传输设备专业修理;电子、机械设备维护(不含特种设备);工业互联网数据服务;信息系统运行维护服务;通信交换设备专业修理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务;第二、三类医疗器械的销售。
公司地址
深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801
客服电话
6/8英寸全自动槽式清洗机
12英寸立式高温氧化炉
12英寸槽式清洗设备
电测量测试设备
功率器件分析仪
数字万用表(DMM)
精密型电流-电压分析仪
相位噪声测量
射频和通用频率计数器/计时器
KEYSIGHT直流电源
HEV / EV / 电网仿真器和信号测试系统
KEYSIGHT脉冲信号测试机
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公司名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
公司地址: 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人: 王雨 邮编: 518132
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