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深硅刻蚀机

品牌: 北方华创
产地: 北京
型号: PSE V300
报价: 面议
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核心参数

产地类别: 国产

产品介绍

1.产品概述:

PSE V300主要用于12英寸深硅刻蚀,同时兼具Bosch/Non-Bosch工艺,实现多工艺领域覆盖。该机台针对Bosch循环工艺方式采用专业先进的快速响应硬件配置及软件流程控制,结合先进的工艺技术,可实现超高深宽比下良好的工艺性能,配置多腔平台,满足大产能量产使用需求。

2.设备应用

晶圆尺寸

8/12 英寸兼容

 

适用材料

硅、氧化硅、氮化硅

 

适用工艺

2.5D&3D TSV刻蚀、深槽隔离/电容刻蚀、MEMS刻蚀

 

适用领域

集成电路、先进封装、功率半导体、图像传感器、微机电系统

 

3.特色优点

刻蚀方式:采用快速气体和射频切换控制系统结合的方式,能够在高深宽比深硅刻蚀中精准控制侧壁形貌,实现侧壁无损伤和线宽无损伤,且刻蚀均匀性、选择比更佳 135

结构设计:每腔单片设计,具有更好的气流场均匀性和真圆度工艺表现,可确保半导体器件制造工艺的质量和稳定性更优。并且机台可同时配置 6 个腔室,产能和性能表现优异 15

晶圆边缘保护:通过优化机台晶圆边缘保护装置,有效提高了产品良率,其效果优于当前行业产品指标 

工艺应用:全面应用于国内各大 12 英寸主流 fab 厂,不仅是 TSV 量产生产线主力机台,还扩展至功率器件、CIS 等领域。例如,在 TSV 工艺中表现出色;在 2.5D 工艺中,可提供能满足 BVR(背面通孔暴露)和 BFR(背面平整暴露)不同工艺需求的刻蚀工艺解决方案

 

  4.设备特点

兼容Bosch/Non-Bosch工艺,实现多工艺领域覆盖

优化的进气系统和ESC系统,提高均匀性

快速进气系统,确保刻蚀速率高,Scallop

实现高深宽比的形貌控制



售后服务
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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北方华创湿法刻蚀设备PSE V300的工作原理介绍

湿法刻蚀设备PSE V300的使用方法?

北方华创PSE V300多少钱一台?

湿法刻蚀设备PSE V300可以检测什么?

湿法刻蚀设备PSE V300使用的注意事项?

北方华创PSE V300的说明书有吗?

北方华创湿法刻蚀设备PSE V300的操作规程有吗?

北方华创湿法刻蚀设备PSE V300报价含票含运吗?

北方华创PSE V300有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售;增减材制造设备的研发与销售;电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修;系统集成;办公室用品批发;实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品);国内贸易,货物及技术进出口;工程技术咨询服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让;一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营);仪器仪表制造;实验分析仪器制造;通用设备制造(不含特种设备制造)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动);普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);国内货物运输代理;装卸搬运;工程技术服务(规划管理、勘察、设计、监理除外);通讯设备修理;运输货物打包服务;仪器仪表修理;信息系统集成服务;基于云平台的业务外包服务;金属制品修理;电气设备修理;通用设备修理;专用设备修理;通信传输设备专业修理;电子、机械设备维护(不含特种设备);工业互联网数据服务;信息系统运行维护服务;通信交换设备专业修理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务;第二、三类医疗器械的销售。

联系方式
深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创深硅刻蚀机PSE V300,北方华创PSE V300产地为北京,属于国产湿法腐蚀/刻蚀设备,除了深硅刻蚀机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多湿法腐蚀/刻蚀设备,客服电话,售前、售后均可联系。

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公司名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址: 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人: 王雨 邮编: 518132

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