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深圳市矢量科学仪器有限公司

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12英寸立式高温氧化炉

品牌： 北方华创
产地： 北京
型号： THEORIS X302H
报价： 面议
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核心参数

产地类别： 国产

应用领域： 集成电路、功率半导体、衬底材料

适用工艺： 干氧氧化、湿氧氧化、DCE氧化、掺氮氧化、退火

产品介绍

1. 产品概述：

THEORIS X302p/h主要用于12英寸600℃-1200℃氧化及退火工艺。该机台为立式单腔炉管系统，工艺处理过程实现了高度自动化。系统主要由传输模块、工艺模块、电源柜等部分组成。

2. 设备应用：

  晶圆尺寸

  12英寸

 

  适用材料

  硅

 

  适用工艺

  高温干/湿氧氧化、DCE氧化、掺氮氧化、高温退火

 

  适用领域

  先进集成电路、功率半导体、衬底材料

 

3. 特色参数：

湿氧氧化工艺是在氧气中加入水汽来进行氧化反应。北方华创 THEORIS X302 氧化炉设备在湿氧氧化工艺中表现出色。它能够精确控制水汽的含量和输入方式，以实现对氧化膜生长速率和质量的精准调控。在温度控制上，同样具备高精度的特点，确保在湿氧环境下硅片受热均匀，从而形成均匀、致密的氧化膜。气体流量的调节也非常精准，能够根据工艺需求灵活调整氧气和水汽的比例，满足不同产品对湿氧氧化工艺的特殊要求。其优秀的工艺稳定性和重复性，使得湿氧氧化工艺的结果可预测且可靠。

 

  4.设备特点

  先进的颗粒控制技术

  先进的金属污染控制技术

  高精度温度场控制技术

  支持快速升/降温度技术

  高产能


售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
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北方华创氧化扩散设备THEORIS X302H的工作原理介绍

氧化扩散设备THEORIS X302H的使用方法?

北方华创THEORIS X302H多少钱一台?

氧化扩散设备THEORIS X302H可以检测什么？

氧化扩散设备THEORIS X302H使用的注意事项？

北方华创THEORIS X302H的说明书有吗？

北方华创氧化扩散设备THEORIS X302H的操作规程有吗？

北方华创氧化扩散设备THEORIS X302H报价含票含运吗？

北方华创THEORIS X302H有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创12英寸立式高温氧化炉THEORIS X302H，北方华创THEORIS X302H产地为北京，属于国产氧化扩散设备，除了12英寸立式高温氧化炉的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多氧化扩散设备,客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

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