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深圳市矢量科学仪器有限公司

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12英寸槽式清洗设备

品牌： 北方华创
产地： 北京
型号： Pinnacle300
报价： 面议
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核心参数

清洗方法： 湿法清洗

产地类别： 国产

设备类型： 批量清洗

晶圆尺寸： 12

相关技术： 全自动槽式湿法清洗

适用制程、应用范围： 集成电路、功率半导体、衬底材料、硅基微

产品介绍

1. 产品概述：

Pinnacle300平台适用于集成电路、功率半导体、衬底材料、硅基微显示领域的清洗工艺。该机台主要由传输模块、工艺模块、药液供给系统、电源柜等组成。传输模块将晶圆传送到指定位置，可同时传送50片，工艺模块用于清洗和蚀刻，药液供给模块用于高精度药液配比、加热、供给、浓度监测。

2. 设备应用：

晶圆尺寸

12英寸

 

适用材料

光阻、单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属膜、金属氧化物

 

适用工艺

炉前、刻蚀/抛光后清洗、光阻、金属氧化物、氮化物去除、控挡片回收

 

适用领域

集成电路、功率半导体、衬底材料、硅基微显示

3. 特色参数：

清洗槽数量：通常具有多个清洗槽，以实现不同的清洗工艺步骤，例如可能有多个化学清洗槽、纯水冲洗槽等。

清洗方式：可支持多种清洗方式，如化学清洗、兆声清洗等，以有效去除晶圆表面的各种污染物。

温度控制：具备精确的温度控制能力，可在一定温度范围内对清洗液或工艺过程进行温度调节，满足不同清洗工艺的需求。

工艺时间：能够对每个清洗步骤的时间进行精确设定和控制，确保清洗效果的一致性。

晶圆尺寸：适用于 12 英寸晶圆清洗，能很好地满足大尺寸晶圆的清洗要求。

自动化程度：具有较高的自动化水平，可实现晶圆的自动传输、定位和清洗过程的自动控制，提高生产效率和减少人为操作误差

4. 设备特点

可配备多药液工艺槽，支持DIO₃等附属功能

软件量身定制，具备快速更新能力

较高的温度控制稳定性

超高的补水精度

精准的蚀刻速率控制

优秀的干燥效果


售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
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北方华创湿法清洗设备Pinnacle300的工作原理介绍

湿法清洗设备Pinnacle300的使用方法?

北方华创Pinnacle300多少钱一台?

湿法清洗设备Pinnacle300可以检测什么？

湿法清洗设备Pinnacle300使用的注意事项？

北方华创Pinnacle300的说明书有吗？

北方华创湿法清洗设备Pinnacle300的操作规程有吗？

北方华创湿法清洗设备Pinnacle300报价含票含运吗？

北方华创Pinnacle300有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创12英寸槽式清洗设备Pinnacle300，北方华创Pinnacle300产地为北京，属于国产湿法清洗设备，除了12英寸槽式清洗设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法清洗设备,客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

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