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深圳市矢量科学仪器有限公司

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多功能溅射、电子束和热蒸发沉积平台

品牌： 科特莱思科
产地： 美国
型号： PRO Line PVD 200
报价： 面议
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核心参数

产地类别： 进口

应用领域： 微电子学

产品介绍

Kurt J. Lesker Company PRO Line PVD 200 是一种模块化、功能齐全的薄膜沉积系统，可实现 8 英寸晶圆转移、多达 8 个溅射阴极和 eKLipse 高级控制软件。PVD 系列在全球拥有 500 多台设备，是一种成熟、坚固且多功能的设计，由 PVD 75 和 200 平台组成。PRO Line PVD 200 建立在原始设计的成功基础上，改进了系统基础压力和抽空时间。技术的腔室设计、具有高级编程功能的行业最佳软件控制系统、自动基板加载以及用于优化薄膜性能的众多功能是这种创新的设计提供的一些关键优势。®

PRO Line PVD 200 与以下技术兼容：

  • 热蒸发（最多六艘 4 英寸的独立船）

  • TORUS 磁控溅射源（最多 8 个 2“ 或 3” 源）®

  • 电子束蒸发源（4口袋8cc，8口袋12cc，6口袋20cc）

  • LTE10 有机沉积源（最多两个）

  • 上述技术的组合也可用。

  • 可根据要求提供定制配置

KJLC的软件允许用户友好的配方创建，以及一个可靠、不间断的处理模块，无论计算机用户界面的状态如何，都可以完成过程。有关此直观、可靠的软件包的更多信息，请参阅“软件”选项卡。

PRO Line PVD 200 在其工艺室中提供四种类型的高真空泵，一个 Pfeiffer 790 L/s 涡轮分子泵（标准），以及可选的 1250L/s Pfeiffer 涡轮分子泵、Brooks CTI-8F 1500 L/s 或 3000 L/s 低温泵。普发涡轮分子泵是实现整体成本效益高质量泵送的不错选择，尤其适用于溅射应用。Brook CTI 低温泵可用于需要尽可能低的真空度的应用，特别是热蒸发和电子束应用。

右图显示了配备的 PRO Line PVD 200 工艺室按泵类型划分的平均预期泵送性能，该工艺室清洁干燥，安装了 （5） TORUS 3“ Mag-keeper 源和 3 英尺长的 1.5 英寸金属柔性波纹管粗加工管线。



售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
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科特莱思科物理气相沉积PRO Line PVD 200的工作原理介绍

物理气相沉积PRO Line PVD 200的使用方法?

科特莱思科PRO Line PVD 200多少钱一台?

物理气相沉积PRO Line PVD 200可以检测什么？

物理气相沉积PRO Line PVD 200使用的注意事项？

科特莱思科PRO Line PVD 200的说明书有吗？

科特莱思科物理气相沉积PRO Line PVD 200的操作规程有吗？

科特莱思科物理气相沉积PRO Line PVD 200报价含票含运吗？

科特莱思科PRO Line PVD 200有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供科特莱思科多功能溅射、电子束和热蒸发沉积平台PRO Line PVD 200，科特莱思科PRO Line PVD 200产地为美国，属于进口物理气相沉积设备，除了多功能溅射、电子束和热蒸发沉积平台的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多物理气相沉积设备,客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

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