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粉丝量 0
核心参数
规格： A3-SR
货号： TS2023
目标应用：
半导体薄膜（光刻胶） 玻璃减反膜测量
蓝宝石薄膜（光刻胶） ITO薄膜
太阳能薄膜玻璃 各种衬底上的各种膜厚
卷对卷柔性涂布 颜色测量 车灯镀膜厚度 其他需要测量膜厚的场合 阳极氧化厚度
产品型号 | A3-SR-100 |
产品尺寸
| W270*D217*（H90+H140） 测试支架 （配手动150X150毫米测量平台和硅片托盘） |
测试方式 | 可见光,反射 |
波长范围 | 380-1050纳米 |
光源 | 钨卤素灯(寿命10000小时) |
光路和传感器 | 光纤式(FILBER )+进口光谱仪 |
入射角 | 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) |
参考光样品 | 硅片 |
光斑大小 LIGHT SPOT | About 1 mm（标配，可以根据用户要求配置） |
样品大小 SAMPLE SIZE | 150mm,配150X150毫米行程的工作台和6英寸硅片托盘 |
膜厚测量性能指标（THICKNESS SPECIFICATION）：
产品型号 | A3-SR-100 |
厚度测量 1 Thickness | 15 nm - 100 um |
折射率 1（厚度要求） N | 100nm and up |
准确性 2 Accuracy | 2 nm 或0. 5% |
精度 3 precision | 0.1 nm |
1表内为典型数值, 实际上材料和待测结构也会影响性能
2 使用硅片上的二氧化硅测量，实际上材料和待测结构也会影响性能
3 使用硅片上的二氧化硅（500纳米）测量30次得出的1阶标准均方差,每次测量小于1秒.
企业名称
上海螣芯电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310120MA1HTCP98R
成立日期
2019-08-16
注册资本
500
经营范围
从事电子科技、通讯科技、计算机信息科技、新能源科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让,电子产品、通讯设备、计算机、软件及辅助设备、机电设备、金属材料、五金交电、仪器仪表、办公用品、日用百货的批发、零售,计算机信息系统集成,自有设备租赁,弱电工程施工,从事货物及技术进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动。】
上海螣芯电子科技有限公司
公司地址
联系电话：13122976482青浦区城中北路
客服电话
公司名称： 上海螣芯电子科技有限公司
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