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螣芯科技
RTP快速退火炉RTP-150真空快速退火炉
产品特点
u 红外卤素灯管加热，冷却采用风冷
u 灯管功率PID控温，可准确控制温度升温，保证良好的重现性与温度均匀性
u 采用平行气路进气方式，气体的进入口设置在Wafer表面，避免退火过程中冷点产生，保证产品良好的温度均匀性
u 大气与真空处理方式均可选择，进气前气体净化处理
u 标配三组工艺气体
u 可测单晶片样品的尺寸为6英寸（150mm）
u 采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障仪器使用安全
RTP行业应用
u 氧化物、氮化物生长
u 硅化物合金退火
u 砷化镓工艺
u 欧姆接触快速合金
u 氧化回流
其他快速热处理工艺
RTP-150RL | |
产品尺寸 | 6寸晶圆或者支持150×150mm产品 |
腔体材质 | 镀金铝制腔体 |
腔体门锁方式 | 自动门锁，保证制程安全 |
温度范围 | 室温~800℃ |
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升温速度 | 150℃/s可编程（此温度为不含载盘的升温速度） 20℃/s（SiC载盘） |
温度均匀度 | ±5℃≤500℃ ±1%＞500℃ |
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温度控制重复性 | ±1℃ |
恒温持续时间 | 可依据要求编程 |
温控方式 | 快速PID温控 |
控温区域 | 多组控温区域，保证恒温区温度稳定性 |
降温速度 | 约200℃/min（1000~400℃）不可编程 |
腔体设计 | 可配置大气常压腔体或者真空腔体 |
真空泵 | 风冷式干泵 |
腔体冷却方式 | 水冷腔体，独立水冷源控制冷却 |
冷水机配置 | 优先选螣芯科技配置的冷水机，或者使用厂务用水 |
衬底冷却方式 | 氮气吹扫 |
工艺气体 | MFC控制，常规两路气体（N2 / GN2） 一路工艺气体、一路氮气吹扫气体 |
控制方式 | 工业电脑+PC control |
温度校准 | TC Wafer及温度校准工具（选配） |
Wafer托盘 | SiC（选配） |
企业名称
上海螣芯电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310120MA1HTCP98R
成立日期
2019-08-16
注册资本
500
经营范围
从事电子科技、通讯科技、计算机信息科技、新能源科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让,电子产品、通讯设备、计算机、软件及辅助设备、机电设备、金属材料、五金交电、仪器仪表、办公用品、日用百货的批发、零售,计算机信息系统集成,自有设备租赁,弱电工程施工,从事货物及技术进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动。】
上海螣芯电子科技有限公司
公司地址
联系电话：13122976482青浦区城中北路
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