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详细咨询来电：双面光刻机+EVG610/620光刻机+接触式光刻对准
EVG620 是一款非常灵活和可靠的光刻设备，可以是半自动也可以配置为全自动形式。EVG620既可以用作双面光刻机也可以用作150mm硅片的精确对准设备；既可以用作研发设备，也可以用作量产设备。精密的契型补偿系统配以计算机控制的压力调整可以确保良率和掩膜板寿命的大幅提升，进而降低生产成本。EVG620先进的对准台设计在保证精确的对准精度和曝光效果的同时，大幅提高了产能。
EVG光刻机主要应用于半导体光电器件、功率器件、传感器、混合电路、微波器件及微电子机械系统（MEMS、）硅片凸点、芯片级封装以及化合物半导体等，涵盖了微电子领域微米或亚微米级线条的芯片的光刻应用。
1. 高分辨率的顶部和底部显微镜 | |||||||
2. 双面光刻和键合对准工艺 | |||||||
3. 自动的微米计控制曝光间距 | |||||||
4. 自动契型补偿系统 | |||||||
5. 优异的全局光强均匀度 | |||||||
6. 快速更换不同规格尺寸的硅片 | |||||||
7. 高度自动化系统 | |||||||
8. Windows图形化用户界面 9. 可选配Nanoalign技术包以达到更高的工艺能力 10. 薄硅片或翘曲硅片处理系统可选 11. 光刻工艺模拟软件可选 12. 三花篮上料台，可选五花篮台
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企业名称
上海螣芯电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310120MA1HTCP98R
成立日期
2019-08-16
注册资本
500
经营范围
从事电子科技、通讯科技、计算机信息科技、新能源科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让,电子产品、通讯设备、计算机、软件及辅助设备、机电设备、金属材料、五金交电、仪器仪表、办公用品、日用百货的批发、零售,计算机信息系统集成,自有设备租赁,弱电工程施工,从事货物及技术进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动。】
上海螣芯电子科技有限公司
公司地址
联系电话：13122976482青浦区城中北路
客服电话
公司名称： 上海螣芯电子科技有限公司
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