MARCH 等离子清洗机March AP1000|March AP600原厂售后

March AP-1000 等离子清洗系统 

March AP-1000 等离子清洗系统，是专门设计适应 24 小时生产的严格要求的情况。此系统提供统一的等离子体，具有优良的可靠性、安全性及操作简单等优点。

AP-1000 平台是完全独立的，因此拥有小的层空间。泵、处理腔体、电子控制和 13.56MHz 电源供应都被安装在一个单一的外壳内。前面开门使得存取组件都很便利。泵安装在便于拆卸的滚筒上。

等离子室由带有铝夹具的 11-gauge 不锈钢构成的，具有优越的耐久性。

提高生产率的 AP-1000 HTP 选项

带有 HTP（高吞吐量）架选项的 AP-1000 等离子系统结合了可靠性和生产品质，证明 March 专利的 HTP 架的优势。AP-1000 HTP 优化在 RF 激励源产生的离子的应用，使在减少过程时间的时候，提高处理的一致性。

AP-1000 HTP 允许选择一系列工艺气体，例如氩气、氢气和氦气等。它装备 4 个质量流量控制器以达到完美工艺气体控制。

带有槽的 M/G 制具垂直安装在处理腔体中。出色的是，每块 M/G 制具可最小支撑 20 个框架。处理腔体可装 12 个 M/G 制具，这有 M/G 制具的尺寸决定。

二、特征与优势

触摸屏的 PLC 控制，提供了形象的图形界面和实时过程显示； 实时显示工艺过程，数据时时可调, 可存 64 个程序；

四种清洗模式：强洗、弱洗、无电子清洗、取胶； 可用来清洗敏感，易粹器件；

灵活的支架结构允许处理多种部分，在水平或竖直模式下；

13.56MHz 的电源具有自动阻抗匹配功能，因此具有出色的过程重复性； 专利的控制软件系统为统计过程控制产生过程和产品的数据；

双重真空吸尘，强力清洗，铝制清洗室，免污染。

三、技术说明书

外壳：涂层铝，泵、电子控制、处理腔体、发生器全部安装在内脚支架：697W×1513H×1127D（mm）

腔体：结构：不锈钢 11AWG，铝支

腔体尺寸：457W×457H×610D（mm） 可调整架数量：14

电源架工作规格：349W×425D（mm） 接地架工作规格：384W×425D（mm）

RF 功率：600W，固态自动调整（可升级为 1000W）

气体控制：4 个质量流量控制器

四、选项：

2个附加的质量流量控制器；

泵系统：下面带风扇的封装或干燥泵

油过滤系统

为腐蚀性气体除油雾系统

氢气发生器

垂直升降的门

接触角测角器（110或220V）

RF发生器提升到1000W

等离子软件，用于远程数据收集与控制

AP-1000 HTP制具

AP-1000 HTP制具