Subnano 轮廓仪-表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度测量

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Subnano 轮廓仪

??NanoX-2000/3000系列、3D光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量(PSI)、白光垂直扫描干涉测量(VSI)和单色光垂直扫描干涉测量(CSI)等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性(稳定性)定量地反映出被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。

产品参数：

n  测量模式        移相干涉（PSI），白光垂直扫描干涉（VSI），单色光垂直扫描干涉（CSI）

n  样 品 台        150mm/200mm/300mm样品台（可选配）

                    XY平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，倾斜：±5°

                    可选手动/电动样品台

n  CCD相机像素    标配：1280×960

n  视场范围        560×750um（10×物镜）

                    具体视场范围取决于所配物镜及CCD相机

n  光学系统        同轴照明无限远干涉成像系统

n  光    源        高效LED

n  Z方向聚焦      80mm手动聚焦（可选电动聚焦）

       n  Z方向扫描范围  精密PZT扫描(可选择高精密机械扫描，拓展达10mm )

n  纵向分辨率      ＜0.1nm

n  RMS重复性*     0.005nm，1σ

n  台阶测量**              准确度 ≤0.75％；重复性 ≤0.1%，1σ

n  横向分辨率              ≥0.35um（100倍物镜）

n  检测速度                   ≤ 35um/sec , 与所选的CCD和扫描模式有关

产品优势

??美国硅谷研发的核心技术和系统软件

??关键硬件采用美国、德国、日本等知名品牌

??PI纳米移动平台及控制系统

??Nikon干涉物镜

??NI信号控制板和Labview64 控制软件

??TMC光学隔振台

??测量准确度重复性达到世界先进水平(中国计量科学研究院证书)

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