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粉丝量 0
核心参数
仪器种类： 专用型
产地类别： 进口
容积： /
超声频率： 1 MHz
超声功率： 30-60W
功率是否可调： 可调
温度是否可调： 可调
时间是否可调： 可调
降音盖： 有
进排水： 半自动
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EVG301 超声波晶圆清洗机
研发型单晶圆清洗系统
一、简介
EVG301半自动单晶圆清洁系统采用一个清洁工作台，使用标准DI水冲洗以及超声波，刷子和稀释化学品清洁晶圆作为额外的清洁选项。通过手动加载和预对准，EVG301是一种多功能研发型系统，可实现灵活的清洁程序，支持300 mm晶圆。EVG301系统可与EVG的晶圆对准和键合系统结合使用，在晶圆键合之前清除任何颗粒。旋转夹头可用于不同的晶圆和基片尺寸，以便轻松配置不同的工艺。
二、特征
使用1 MHz兆声波喷嘴或区域传感器进行高效清洁（可选）
刷子擦洗，用于单面清洁（可选）
用于晶圆清洗的稀释化学品
防止从背面到正面的交叉污染
完全由软件控制清洁过程
三、可选项
带IR检测的预键合台
用于非SEMI标准基片的工具
四、参数
1、晶圆尺寸：200mm，100-300mm
2、清洗系统：
打开腔室，旋转器和清洁臂
3、腔室：由PP或PFA制成（可选）
4、清洁介质：去离子水（标准），其他清洁介质（可选）
5、旋转夹头：真空夹头（标准）和边缘处理夹头（可选）由金属离子和清洁材料制成
旋转：高达3000 rpm（5秒内）
6、超声波喷嘴：
频率：1 MHz（3 MHz选项）
输出功率：30 - 60 W
去离子水流量：高达1.5升/分钟
有效的清洁区域：?4.0mm
材质：PTFE
技术/销售热线：
邮箱：
企业名称
岱美仪器技术服务（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310115400090024
成立日期
2002-02-07
注册资本
经营范围
磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
岱美仪器技术服务（上海）有限公司
公司地址
上海市浦东金高路2216弄35号6幢306-308室
客服电话
公司名称： 岱美仪器技术服务（上海）有限公司
公司地址： 上海市浦东金高路2216弄35号6幢306-308室 联系人： Alex（021-3861 3675） 邮编： 201206
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