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核心参数
仪器种类： 进口等离子体表面处理仪
射频频率： -
功率： -
设备尺寸： -
样品腔容积： -
样品腔材质： -
工作气体： N2和O2
控制方式： 自动
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EVG810 LT 低温等离子活化系统
用于SOI，MEMS，化合物半导体和高级衬底键合的低温等离子体活化系统
一、简介
EVG810 LT （LowTemp™）低温等离子活化系统是一个独立单腔室系统，具有手动操作功能。 处理室允许非原位处理（晶片一个接一个地激活并且键合在等离子体活化室外部）。
二、特征
用于低温键合的表面等离子体活化（熔合/分子和中间层键合）
任何晶圆键合机制的zui快动力学
无需湿法工艺
低温退火时的zui高键合强度（zui高400°C）
适用于SOI，MEMS，化合物半导体和先进封装
高度的材料兼容性（包括CMOS）
三、参数
1.晶圆尺寸：50-200mm，100-300mm
2.低温等离子活化腔：
工艺气体：2种标准工艺气体（N2和O2）
通用大流量控制器：自校准（高达20.000 sccm）
真空系统：0.09 mbar
打开/关闭腔室：自动化
装载/卸载腔室：手动（晶圆/基板放置在装载销上）
3.备选功能：
用于不同的晶圆尺寸的夹头
金属离子激活
带有气体混合的附加工艺气体
带涡轮泵的高真空系统：0.009 mbar的基础气压
技术/销售热线：021-3861367
邮箱：
企业名称
岱美仪器技术服务（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310115400090024
成立日期
2002-02-07
注册资本
经营范围
磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
岱美仪器技术服务（上海）有限公司
公司地址
上海市浦东金高路2216弄35号6幢306-308室
客服电话
公司名称： 岱美仪器技术服务（上海）有限公司
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