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粉丝量 0
核心参数
产地类别： 进口
旋转速度： /
旋转精度： /
最大加速度： /
基片直径： 300mm
腔体直径： /
EVG101 匀胶机 匀喷胶机 光刻胶处理机
一、简介
研发和小规模生产中的单晶圆光刻胶加工。
EVG101光刻胶处理系统在单室设计上可以满足研发工作，与EVG的自动化系统完全兼容。EVG101支持zui大300 mm的晶圆，可配置为旋涂或喷涂和显影。使用EVG先进的OmniSpray涂层技术，在3D结构晶圆上实现光刻胶或聚合物的共形层，用于互连技术。这确保了高粘度光致光刻胶或聚合物的低材料消耗，同时改善了均匀性并防止了扩散。
二、技术参数：
晶圆尺寸：高达300mm（12寸）
支持模式：旋涂/ OmniSpray®/生长
晶圆支撑模式：单臂/双EE/边缘/翻动
分配模式：
- 各种分配泵，可覆盖高达52000cP的各种粘度
- 恒压分配系统
- EBR / BSR /预湿/碗洗/液体灌注
三、特征：
晶圆尺寸可达300 mm
自动旋涂或喷涂或使用手动晶圆装载/卸载进行显影
利用从研究到生产的快速简便的过程转换
成熟的模块化设计和标准化软件
注射器分配系统，用于利用小的光刻胶体积，包括高粘度光刻胶
占地面积小，同时保持高水平的个人和过程安全性
多用户概念（无限数量的用户帐户和程序，可分配的访问权限，不同的用户界面语言）
选项：
- 采用OmniSpray®涂层技术均匀涂覆晶圆的高表面形貌
- 用于后续键合工艺的蜡和环氧树脂涂层
- 旋涂玻璃（SOG）涂层
技术/销售热线：
邮箱：
企业名称
岱美仪器技术服务（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310115400090024
成立日期
2002-02-07
注册资本
经营范围
磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
岱美仪器技术服务（上海）有限公司
公司地址
上海市浦东金高路2216弄35号6幢306-308室
客服电话
公司名称： 岱美仪器技术服务（上海）有限公司
公司地址： 上海市浦东金高路2216弄35号6幢306-308室 联系人： Alex（021-3861 3675） 邮编： 201206
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