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产品简介：
PERI-RIE是韩国ULtech公司生产的一款基于反应离子刻蚀（RIE）技术的干法刻蚀系统。RIE是一项应用于精密加工的刻蚀技术，相比湿法刻蚀具有不同的优势。
主要参数：
应用 | 金属及介电材料刻蚀 |
刻蚀材料 | SiO2, Si3N4, Si, Al, GaN, HfO2, Al2O3,石墨烯,… |
基底尺寸 | 最大12英寸 |
产能 | 1 wafer/次 |
源注入类型 | 双离子束 |
供电 | 射频功率最大值2Kw@13.56MHz(带射频匹配网络) |
极限压力 | < 5.0E-3 Torr |
压力控制 | 自动压力控制(节流阀，气压计) |
气体输送 | SF6, CHF3, CF4, C4F8, BCl3,Cl2O2, Ar, He,… |
真空泵 | 干泵或旋转泵 |
控制器 | PC控制(UPRO软件) |
选项 | TMP, |
前置样品传送腔体（Loadlock chamber） | |
系统尺寸(宽*深*高) | 800mm × 880mm × 1200mm |
应用案例：
Si3N4,Si,SiO2 etching Process data(RIE)
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企业名称
上海艾尧科学仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91310230MA1K17UD9U
成立日期
2018-07-06
注册资本
300
经营范围
仪器仪表销售、维修,机械设备、环保设备、机电设备及配件、计算机软件及辅助设备、实验室设备、金属材料、橡塑制品、家用电器、照明设备、电气设备、消防器材、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、建筑材料、电缆电线、电子产品、通信设备、文化办公用品、工艺礼品(象牙及其制品除外)、日用百货、普通劳防用品、服装鞋帽的销售,市政工程,环保工程,机电设备安装工程,机械设备租赁,商务信息咨询,会务服务,展览展示服务,从事机械、仪器仪表、信息技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,物业管理,房地产经纪,市场营销策划,设计、制作各类广告,货物运输代理,从事货物及技术的进出口业务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海艾尧科学仪器有限公司
公司地址
浦东新区建韵路500号
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