2020/03/10 15:20
阅读:695
分享:方案摘要:
产品配置单:
进口纳米狭缝涂布机
型号: nRad
产地: 美国
品牌:
面议
参考报价
联系电话
粉末压实密度仪 手动4350 / 自动3887
型号: 手动4350 / 自动3887
产地: 美国
品牌: 卡弗
¥5万 - 10万
参考报价
联系电话
原装进口光学膜厚仪/薄膜测厚仪FR-pRo
型号: FR-pRo
产地: 希腊
品牌:
¥10万 - 20万
参考报价
联系电话
方案详情:
薄和超薄金属薄膜的厚度测量
简介:薄膜厚度对涂层的性能,特别是薄膜和超薄薄膜的性能至关重要。因此,采用非常精确和无损的方法来表征此类薄膜是非常重要的。薄膜厚度的光学测定方法具有非接触、无损、快速、准确、灵敏、重现性好等优点。在本应用说明中,我们使用FR工具测量金属薄膜和超薄薄膜的厚度。
方法和手段:研究样品是在硅片表面镀上铱和金的薄膜。这些薄膜是用标准溅射工具在很宽的厚度范围内沉积的。利用FR-pRo紫外/可见分光光度计,在280-700nm的光谱范围内对薄膜进行了镜面反射测量。
结果:在紫外/可见光谱范围内,金属呈现高吸光度,可测量的最大膜厚为几十纳米的材料。例如,一些金属的最大膜厚在下表中给出。
结论:用FR工具成功地测量了Si表面超薄金属层和薄金属层的厚度。利用XRR技术对厚度测量结果进行了鉴定。FR工具是一种经济、无损的测量超薄金属薄膜厚度的方法。
FR的工具基于白光反射光谱(Reports) 。
准确同步的厚度测量及薄膜的折射率
-一个广泛的多样化的应用范围广泛的光电
特性的工具和整体解决方案,如:
半导体、有机电子、聚合物、涂料和涂料、
光伏、生物传感、化学传感...
下载本篇解决方案:
更多
MC方案:汽车透明漆层厚度的测定
透明涂层的厚度均匀性(保护汽车漆层的层),是汽车最终表面质量的关键。因此,厚度测定是汽车喷漆过程中必须监测的一个重要参数。在本应用说明中,使用参数fr工具演示了二手车不同部位透明涂层厚度的测量。
汽车及零部件
2020/03/10
MC方案:评估生物分子层厚度
引入WLRS用于测量各层的厚度,评价生物分子固定在固体表面上的有效性及其与相应生物分子的后续反应。特别研究了兔(RgG)和小鼠γ-球蛋白(MgG)的吸附及其与互补抗体的反应。通过配备有0.35nm光学分辨率的VIS-NIR光谱仪和白光卤素灯的FR-Basic进行测量。基板是厚度约为1000nm的热生长SiO2薄膜的硅晶片。
半导体
2020/03/09
MC方案:用于MEMS应用的悬浮式活性硅膜厚度测量
硅基传感器因其高性能、低成本和小尺寸而广泛应用于不同的微机电系统。悬挂在图案化硅膜或基于硅绝缘体的传感器上的活性硅层的厚度确定对于最终平台[1]的性能控制至关重要。在这里,我们已经在一个微机电系统压力传感器上测量了这样的薄膜厚度,使用的是一个孔径为250μm的FR-μ探针工具,该工具安装在一个徕卡分模光学显微镜上。使用10X物镜进行测量,该物镜与选定的孔径大小一起对应于25μm的光斑大小(测量区域)。
半导体
2020/03/10
MC方案:精确的非接触式在线PET薄膜厚度测量
FR-inLine是一种在线非接触式测厚仪,用于实时测量透明和半透明的单层或多层薄膜的厚度,以及以片状或带状形式生产的大多数材料的厚度。在本应用说明中,我们演示了使用FR工具在线测量PET薄膜的厚度。
半导体
2020/03/10