核心参数
产地类别: 进口
加热功率: 960W
最高加热温度: 250°C
温度均匀性: ±1%
盘面尺寸: 250 x 250 mm
加热区尺寸: 10 mm - 150 mm
显示方式: 数显
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MC方案:实时监控由于环境光暴露引起的光刻胶膜的光谱灵敏度
通常,普通光刻胶的光谱灵敏度范围从DUV到光谱的短波VIS部分。 如果没有合适的黄色/橙色滤光片,人造光和日光都会在几秒钟内使涂有光刻胶层的基材曝光,从而使可重复的光刻工艺变得不可能。 在我们的研究中,研究了在显微镜玻璃上涂覆的?3μm厚的AZ5214光致抗蚀剂上的标准室内曝光量。
电子/电气
2020/03/09
迈可诺技术有限公司
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