您好，欢迎访问仪器信息网
注册
搜全站
搜展位
迈可诺技术有限公司

关注

已关注

银牌9年 银牌

已认证

粉丝量 0

400-860-5168转3827

仪器信息网认证电话，请放心拨打

全部分类
首页
产品中心
最新动态
解决方案
访客留言
联系方式
视频中心
关于我们

公司简介
当前位置： 迈可诺 > 退火炉 > 真空快速退火炉AS-Micro

真空快速退火炉AS-Micro

品牌：
产地： 荷兰
型号： AS-Micro
报价： ¥10万 - 30万
获取电话
留言咨询

核心参数

仪器种类： 高真空快速退火炉

产地类别： 进口

样品尺寸： 样品最大尺寸3-inch

温度范围： 室温~1250 ℃

最高升温速率： 0.1 ℃~250 ℃/s

降温速率： /

退火温度准确性： 快速数字PID温度控制

退火温度均匀性： 快速数字PID温度控制

产品介绍

真空快速退火炉AS-Micro


AS-Micro是一款适用于实验室研究的真空快速退火炉，性能卓越。

可处理从几平方毫米到3英寸直径或正方形的基板。

可搭配分子泵实现高真空下热处理工艺。

最高温度1250 ℃，最快升温速率250℃/Second。            

全程PC软件控制升温程序，保证温度不过冲，控温精度准确。

拥有双腔室，避免交叉污染。

 

应用：

•    快速热退火

•    植入退火

•    欧姆接触退火

•    快速热氧化（RTO）

•    快速热氮化（RTN）

•    石墨烯快速热化学气相沉积

 

产品特点：

1、 红外卤素灯管加热，冷却采用风冷（低噪音水平，无需压缩空气）；

2、加热由功率控制而非电压控制，避免了由于灯丝老化电阻改变导致的后续使用中加热不均的问题，保证了良好的重现性及均温性，即使在后续使用过程中更换了部分新的灯管也可以达到最初的热处理效果；

3、石英腔体，腔体冷却采用水冷，冷壁设计，双层不锈钢；

冷壁水冷技术优点在于：1、无记忆，2、工艺重复性高，3、冷却速度快；

4、反应腔室的设计，气体的进入口设计在wafer的表面，避免在退火过程中冷点的产生。很好的保证了样品在加热过程中的均温性；

5、快速数字PID控温；

6、热电偶设计上采用中间和边缘安装模式，测试的样品的温度，控温精准；

7、大气和真空工艺均适合，净化气体配针阀；

8、最多3工艺气体，配数字质量流量控制器；

9、电脑通过以太网连接更快的数据传输速度；

10、可选配石墨托盘表面涂SiC薄膜设计，用于小样品测试；

11、可选配分子泵，用于高真空测试；

12、可选配双腔体设计, 达到高洁净工艺，避免交叉污染。

 

产品标准配置及规格参数：

1、样品最大尺寸：3-inch；

2、温度范围：室温~1250 ℃；

3、升温速率：0.1 ℃~250 ℃/s ；

4、温度控制：快速数字PID控制；

5、热电偶：2N型热电偶；

6、工艺气体气路配质量流量计；

7、配置真空泵及真空规：

8、样品腔室尺寸（单室）：700*700*700mm (W*D*H)；净重82Kg；

样品腔室尺寸（双室）：700*700*1825mm (W*D*H；净重142Kg；


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 1次线上培训
免费仪器保养： 无
保内维修承诺： 因产品质量问题免费保修各种消耗品除外仪器提供全面维护使之处于正常工作状态
报修承诺： 产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应除节假日外以最快的速度派遣
问商家

退火炉AS-Micro的工作原理介绍

退火炉AS-Micro的使用方法?

AS-Micro多少钱一台?

退火炉AS-Micro可以检测什么？

退火炉AS-Micro使用的注意事项？

AS-Micro的说明书有吗？

退火炉AS-Micro的操作规程有吗？

退火炉AS-Micro报价含票含运吗？

AS-Micro有现货吗？

工商信息

企业名称

迈可诺技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

民营

信用代码

39982968-000-11-23-9

成立日期

2008-02-21

注册资本

139万

经营范围

通讯电子产品、机械自动化产品、半导体产品、计算机信息技术产品研发、销售及技术服务

联系方式

迈可诺技术有限公司

公司地址

武汉市洪山区

客服电话

400-860-5168转3827
迈可诺技术有限公司为您提供真空快速退火炉AS-Micro，nullAS-Micro产地为荷兰，属于进口退火炉，除了真空快速退火炉AS-Micro的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多退火炉,迈可诺客服电话400-860-5168转3827，售前、售后均可联系。
推荐产品
供应产品
相关品类

手机版:

真空快速退火炉AS-Micro

迈可诺技术有限公司

查看电话

沟通底价

提交后，商家将派代表为您专人服务

获取验证码

{{maxedution}}s后重新发送

获取多家报价，选型效率提升30%
提交留言
点击提交代表您同意 《用户服务协议》 《隐私政策》 且同意关注厂商展位
联系方式：

公司名称： 迈可诺技术有限公司

公司地址： 武汉市洪山区 联系人： 杨洋 邮编： 210000 联系电话： 400-860-5168转3827

主营产品：

压片机 等离子体表面处理仪 匀胶机 紫外臭氧清洗仪 湿法腐蚀/刻蚀设备 等离子体刻蚀设备 纳米压印设备 原子层沉积设备 探针台 光学薄膜测量设备 电镜附件及外设 有掩模光刻机 退火炉

友情链接：

官方网站

仪器信息网APP

展位手机站