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Semoc快速退火炉JetFirst100C

品牌:
产地: 法国
型号: JetFirst系列
报价: ¥50万 - 80万
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核心参数

仪器种类: 高真空快速退火炉

产地类别: 进口

样品尺寸: L850mmxD800mmxH700mm

温度范围: 室温~1200℃/s

最高升温速率: 1~200℃/Sec

降温速率: 1~200℃/Sec

退火温度准确性: ±1℃

退火温度均匀性: ±1℃

产品介绍

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欧洲原装进口RTP系列快速退火炉常被应用在各类半导体处理工艺领域,尤其是针对4~8英寸以内的单晶圆处理,JetFirst可以在客户现场轻松升级,100mm轻松升级到可以处理200毫米晶圆的能力,具有交叉灯技术,可在晶圆上实现更好的温度均匀性。



应用范围:

离子注入/接触退火;

快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);

SiAu,SiAl,SiMo等炼制合金;

低K电介质;

后植入退火处理;

铜浆烧制;

电阻浆料烧制;

太阳能电池晶片键合工艺;

LTO钛酸锂材料制备;

晶体化,致密化;


不锈钢冷腔室壁优点

工艺重复性高;

高冷却速率,低记忆效应;

高温计和热电偶控制;

快速数字PID温度控制器;

超清洁无污染的环境;

无金属和无交叉污染

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工商信息

企业名称

迈可诺技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

民营

信用代码

39982968-000-11-23-9

成立日期

2008-02-21

注册资本

139万

经营范围

通讯电子产品、机械自动化产品、半导体产品、计算机信息技术产品研发、销售及技术服务

联系方式
迈可诺技术有限公司为您提供Semoc快速退火炉JetFirst100CJetFirst系列,nullJetFirst系列产地为法国,属于进口退火炉,除了Semoc快速退火炉JetFirst100C的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供Jetlight系列高温退火炉、Jetstar系列高温退火炉,迈可诺客服电话400-860-5168转3827,售前、售后均可联系。

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