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MINN M6匀胶旋涂仪

品牌:
产地: 福建
型号: M6
报价: ¥2万 - 5万
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核心参数

产地类别: 国产

旋转速度: 3000 RPM

旋转精度: 误差不超过±1 RPM

最大加速度: 65535RPM/S 空载

基片直径: 最大到6英寸(150mm)直径圆片或5x5英寸(125mm)边长方片直径的材料

腔体直径: 8.7英寸

产品介绍

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  M6 Spin Coater可旋涂处理小碎片至6英寸圆晶圆片,使用无刷直流双向旋转马达控制,转速稳定,控制器可拆卸配合手套箱使用,4.3寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。M6 Spin Coater外形美观,结构紧凑,专为实验室,研发和小规模生产部门提供性价比高的匀胶涂覆设备。M6 Spin Coater在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。

 

二、技术参数

1.保护气体装置:旋涂过程中对旋转马达进行气流保护(可选择取消);

2.支持Wafer尺寸:最小标配为10 mm,可选配到3mm5mm;最大到直径6英寸(150mm)的圆片或边长5x5英寸(125x125mm)的方片,无需更换片托;

3.设备材质:全部采用易清洁的NPP天然聚丙烯材质,环保,抗震,耐腐蚀;

4.无刷马达:直流双向旋转,正反旋转速度±100~±12000rpm,稳定性能误差±1rpm

5.马达安全模式:可设置非真空模式,转速3000rpm,加速度500rpm/s

6.加速度可控范围:100-30000RPM/S

7.工艺时间:每步可以设定45小时,精度不超过0.1秒;

8. PLC控制:4.3英寸全彩触摸屏高精度PLC可编程的控制器;

9.程序段:可存储99个程序段,每个程序段可设置50个不同步骤的速度状态;

10.无油真空泵:220V/50Hz真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节;

11.扩展功能:可升级预留端口,可扩展自动滴胶装置、自动去边装置、手动去边等选配项。

 

三、设备性能特点

马达控制:无刷直流双向旋转;

智能程控:控制器可拆卸,4.3英寸寸全彩触屏,配有智能触碰笔,按键有提示音,选中功能有颜色区分,适用于手套箱;

腔体材质:易清洁的NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性;

模式切换:可自由切换单步模式、多步模式和曲线分析图;

防止堵胶:双真空腔设计;

预留端口:可升级扩展其他多种选配项;

密码功能:设有开机密码和管理员密码,管理员有权限修改核心参数;

安全报警:系统盖板嵌锁、真空异常、通气异常、系统进胶、马达转速异常均会报警,通过声音和界面对话框提示;

气流保护:旋涂过程中对马达进行气流保护(也可选择取消),易维护,易清洁,大幅提高马达使用寿命;

 

四、应用领域

• 半导体芯片制造

• 钙钛矿太阳能电池制备

• 微纳和微流控

• 纳米薄膜

• 高分子材料

• 有机光伏

• 有机发光二极管

• 有机场效应晶体管&薄膜晶体管

• 石墨烯&二维材料

售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 1次线上培训
免费仪器保养:
保内维修承诺: 因产品质量问题免费保修各种消耗品除外仪器提供全面维护使之处于正常工作状态
报修承诺: 产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应除节假日外以最快的速度派遣
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匀胶机M6的工作原理介绍

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工商信息

企业名称

迈可诺技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

民营

信用代码

39982968-000-11-23-9

成立日期

2008-02-21

注册资本

139万

经营范围

通讯电子产品、机械自动化产品、半导体产品、计算机信息技术产品研发、销售及技术服务

联系方式
迈可诺技术有限公司为您提供MINN M6匀胶旋涂仪,nullM6产地为福建,属于国产匀胶机,除了MINN M6匀胶旋涂仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供美国Laurell匀胶机WS-650-23NPPB、美国Laurell匀胶机650-8N、美国Laurell匀胶机650-15N,迈可诺客服电话400-860-5168转3827,售前、售后均可联系。

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