特征
1.晶圆尺寸50~150/200(mm)(其他可根据要求提供)
2.真空吸盘旋转90度。
3.X/Y轴直线滑动平台。(其他可根据要求提供)
X轴的最大长度为150mm,分辨率为5um,其被显示在屏幕上。
Y轴的最大划线长度为150mm。
Z轴最大调整长度为10mm,分辨率为10um。
4.夹头的角度可以稍微调整一下。
调整角度为0.006~4度
5.划线压力可调
下行压力约为5~600g(其他可根据要求提供)
6.金刚石刀具自动下降
7.触地跌落升降机设计
8.角度金刚石工具可略微调整
调整角度为45度
选配
真空泵
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企业名称
迈可诺技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
民营
信用代码
39982968-000-11-23-9
成立日期
2008-02-21
注册资本
139万
经营范围
通讯电子产品、机械自动化产品、半导体产品、计算机信息技术产品研发、销售及技术服务
迈可诺技术有限公司
公司地址
武汉市洪山区
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