曝光模式： 投影式
产地类别： 国产
分辨率： 0.5um
光源： LD405,3.6W;DPSSL 355nm，10W;DPSSL 355NM,10W（选配）
曝光面积： 250mmX250mm
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MiScan
型号：MiScan-200/MiScan-200UV/MiScan-Pro
核心参数
曝光模式：扫描式曝光
产地类别：中国
光源：355 nm/LD405/LED405（选配）
运动平台：直线电机150mmX150mm/直线电机气浮结构：300mmX300mm
图形发生器：0.95英寸（1920X1080）
环控系统：0.1℃，百级净化
灰度等级：1024阶
幅面尺寸：10”基底
数据分辨率：0.5um/0.25um/0.1um
套刻对准精度:±0.5um
背对准系统：选配
*规格参数因具体工艺差异有所不同
产品货期: 240天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后7天内
电话支持响应时间: 24小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 3天内
节假日是否提供上门服务: 是
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 否
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 否
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先付款后维修
无理由退换货: 不支持
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