机械研磨

机械合金化（MA） 最早是由美国国际镍公司的本杰明（Benjamin）等人，于1969年前后研制成功的一种新的制粉技术，并被成功应用到弥散强化高温合金的制备中。从其严格定义上讲是指，金属或合金粉末在高能球磨仪中通过粉末颗粒与磨球之间长时间激烈地冲击、碰撞，使粉末颗粒反复产生冷焊、断裂，导致粉末颗粒中原子扩散，从而获得合金化粉末的一种粉末制备技术。时至今日，人们对机械合金化理论理解进一步加深，机械合金化所需的高能球磨机性能也进一步提升，其应用已扩展至非晶态合金、准晶、纳米晶以及非平衡态材料的研究。（图片来源于网络）机械合金化过程 机械合金化是一个复杂的过程，要获得理想的相和微观结构，对实施机械合金化的高能球磨机提出了极高的要求，因此机械合金化也被称之为研磨应用的“珠穆朗玛峰”。在大多数情况下，在有限的球磨时间内仅仅使各组元在那些相接触的点、线和面上达到或趋近原子级距离，并且最终得到的只是各组元分布十分均匀的混合物或复合物。当球磨时间非常长时，在某些体系中也可通过固态扩散，使各组元达到原子间结合而形成合金或化合物。（图片来源于网络）机械合金化利器——SPEX三维∞高能球磨仪 目前在全世界范围内，已有数千篇使用SPEX高能球磨仪做机械合金化和纳米材料研究的高端文献，甚至可以说，每个做机械合金化研磨的实验室里，都至少有一台SPEX三维∞式高能球磨仪。SPEX发明了三维∞式研磨方式，高能效，可连续工作10000分钟以上，完美契合机械合金化需求，在研磨界没有其他厂家的性能与之匹敌，成就SPEX在研磨界的领导地位。首先，机械合金化需要极高的动能，球磨设备需要具备极高的研磨能力。为了增加研磨介质，研磨罐和物料粉末撞击力和摩擦力，为物料粉末达到原子间结合提供提供极高的动力源泉，SPEX高能球磨仪采用更有效的∞式三维运动方式，其碾磨能量密度达到传统行星式二维运动的6-8倍。其次，研磨时间也是影响机械合金化效果的重要因素。随着研磨的进程，合金化程度会越来越高，因此需要球磨设备提供足够长时间的稳定研磨能力；SPEX高能球磨仪机械工作耐久性极限达10000分钟以上，充分保证了机械合金化进程的有效性。最后，研磨温度也是机械合金化进程中必须考量的重要因素。因为无论机械合金化的最终产物是固溶体、金属间化合物、纳米晶、还是非晶相都涉及到高温扩散降解问题，研磨温度越高，合金化产物高温扩散降解越快，合金化效率越低下；SPEX独特专利设计的∞式三维运动方式，更高比例输出正面撞击力，而非摩擦力，因此热生成更低，合金化效率更高。

p style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 2em "机械合金化（MA）是指利用机械能的作用使材料的组元在固态下实现合金化的材料制备技术，而高能球磨是实现MA的主要方法。/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "为了帮助业内人士了解机械合金化最新技术以及研磨仪最新应用等内容，仪器信息网特别策划了“研磨仪VS机械合金化”专题，并邀请到培安公司董事长刘伟就相关问题发表了看法。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 300px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202009/pic/93dd3f19-1c43-44b9-9448-bda62af2adfd.jpg" width="450" height="300" border="0" vspace="0" title="" alt=""//pp style="text-indent: 0em text-align: center "strong style="text-indent: 0em "培安公司董事长 刘伟/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongspan style="color: rgb(0, 112, 192) "仪器信息网：请您谈一谈培安公司的发展历程，以及培安在中国市场的发展历程？/span/strong /pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong刘伟：/strong培安公司是最早的来到中国的外企公司，80年代末就已经在北京开设了办事处。当年培安公司和美国贝尔德公司是同一个股东的兄弟公司，后来贝尔德被热电公司兼并，所以培安成了一独立公司。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我有幸加入培安公司亲历了中国改革开放所有的过程，一路走来，我们认为中国现在取得的成就来之不易，而欧美也是跟中国的改革开放一起成长起来的。全球化自由贸易没有国界，科学也是没有国界的，全球化是人类命运共同体的基础。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "培安公司自成立以来，一直致力于为国内用户提供最先进的科研仪器和最新的科研技术，旨在为提高祖国的科研实力做贡献。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "例如，培安公司所代理的美国CEM公司的微波产品，几乎垄断了所有的微波化学的初创发明，如微波消解仪，萃取仪，灰化仪，微波有机合成和微波多肽合成。从多模道单模到环型单模，开创和领导了整个微波化学的发展。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "例如，培安公司所代理的美国SPEX公司的研磨产品，组织研磨、冷冻研磨、三维高能球磨都是SPEX独创的，开拓和引领了样品粉碎产品的发展方向。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "还有像美国ISCO公司是多通道平行和连续制备色谱的发明者，美国HANSON公司是药物溶出之父等，这些公司这种对科学的开拓精神，值得我们由衷的尊敬。同时经过长时间的积累和沉淀，无论是产品设计、产品应用还是售后维护，都拥有丰富的经验。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongspan style="color: rgb(0, 112, 192) "仪器信息网：贵公司的研磨仪产品有哪些独特优势？/span/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong刘伟：/strong机械合金化最早是由美国国际镍公司的本杰明（Benjamin）等人，于1969年前后研制成功的一种新的制粉技术，并被成功应用到弥散强化高温合金的制备中。机械合金化是一个复杂的过程，要获得理想的相和微观结构，对实施机械合金化的高能球磨机提出了最高的要求，因此机械合金化也被称之为研磨应用的“珠穆朗玛峰”。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "首先，球磨设备要具备足够高的研磨能量，增加研磨介质，研磨罐和物料粉末撞击力和摩擦力，为物料粉末达到原子间结合提供提供足够高的动力源泉。SPEX高能球磨仪采用更有效的∞式三维运动方式，其碾磨能量密度达到传统行星式二维运动的6-8倍。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "其次，研磨时间也是影响机械合金化效果的重要因素，随着研磨的进程，合金化程度会越来越高，因此需要球磨设备提供足够长时间的稳定研磨能力。SPEX高能球磨仪机械工作耐久性极限达10500分钟，充分保证了机械合金化进程的有效性。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "最后，研磨温度也是机械合金化进程中必须考量的重要因素，因为无论机械合金化的最终产物是固溶体、金属间化合物、纳米晶、还是非晶相都涉及到高温扩散降解问题，研磨温度越高，合金化产物高温扩散降解越快，合金化效率越低下。SPEX独家专利设计的∞式三维运动方式，更高比例输出正面撞击力，而非摩擦力，因此热生成更低，合金化效率更高。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "目前，全世界范围内已有数千篇使用SPEX高能球磨仪做机械合金化和纳米材料研究的文献，SPEX机械合金化也在真正意义上被称为研磨应用的“珠穆朗玛峰”。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongspan style="color: rgb(0, 112, 192) "仪器信息网：市场上的研磨仪产品还需要在哪些方面进行改进或完善来适应日趋多样化的应用需求？/span/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong刘伟：/strong研磨仪功能主要分为混合、粒径粉碎以及机械合成。传统二维弧形摆动和行星式研磨仪完全可以满足混合和粒径粉碎的需求，但对能量需求更高的机械合成应用还无法满足。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "SPEX高能球磨机在机械合金化领域一枝独秀，是全世界各大高校、科研单位新材料研究的核心利器。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongspan style="color: rgb(0, 112, 192) "仪器信息网：请问您如何看待中国市场的需求及发展潜力？贵公司接下来有哪些发展规划？/span/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strong刘伟：/strong2020是多灾多难的一年，对于经济来说，2019年延续下来的中美贸易战硝烟弥漫，二月初新冠疫情爆发，对中国经济，乃至世界经济都是双重的打击，中美市场均面临挑战。但中国具有体制优势，通过严防死守，迅速从这场灾难中脱身，已开始全面复工复产。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "我认为中国市场还是具有很大的发展潜力的。培安依然会坚持引进世界最先进的科研仪器和最新的科研技术，为提高我们祖国的科研实力做贡献。/ppbr//p

p 8月17日，广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院发布《广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院化学机械研磨机（CMP）采购项目单一来源采购公示》，拟采购单一来源的CMP设备。/pp一、项目信息/pp 采购人：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院/pp 项目名称：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院化学机械研磨机（CMP）采购项目/pp拟采购的货物或者服务的说明：/ptable style="border-collapse:collapse "tbodytr class="firstRow"td style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) word-break: break-all " width="49" valign="top" 包号/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) word-break: break-all " width="161" valign="top" 货物名称/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) word-break: break-all " width="67" valign="top" 数量br//tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) word-break: break-all " width="163" valign="top" 采购预算（人民币）/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) word-break: break-all " width="123" valign="top"最高限价（人民币）/td/trtrtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) word-break: break-all " width="49" valign="top" 1/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) word-break: break-all " width="161" valign="top" 化学机械研磨机（CMP）/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) word-break: break-all " width="67" valign="top" 1/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) word-break: break-all " width="163" valign="top" 1700万元/tdtd style="border: 1px solid rgb(0, 0, 0) word-break: break-all " width="123" valign="top" 1200万元/td/tr/tbody/tablep CMP过程是一个动态的微细加工过程，通过化学腐蚀和机械力共同作用实现对待抛光面材料表面的平滑处理。在该过程中，抛光液中的化学组分与待抛光面材料发生反应，在待抛光材料表面形成一层很薄、结合力较弱的生成物 而抛光液中磨粒在压力和摩擦作用下对待抛光材料表面进行微量去除。此外，抛光过程抛光液还通过在抛光区域形成流体膜以及带动磨粒在抛光区运动影响抛光过程。在高端TC-SAW器件的制备过程中，叉指电极的表面粗糙度、以及叉指电极的图案化，在后续的材料生长过程中，由于保型性，最终的覆盖层上表面不是一个平整的表面，会导致波的覆盖层表面的传播特性受到影响，所以，必须要对覆盖层的上表面进行平坦化处理。另外，电极层、以及表面覆盖层的厚度也要精确的控制，从而实现对于器件频率一致性的精确控制。CMP加工的过程中，主要关注的参数包含设备参数、研磨液参数、抛光垫参数、CMP对象薄膜参数等。CMP是一种集机械学、流体力学、材料化学、精细化工、控制软件等多领城最先进技术于一体的设备，是集成电路制造设备中较为复杂和研制难度较大的设备之一。为了完成本项目，急需采购符合相关技术指标的化学机械研磨机。/pp拟采购的货物或服务的预算金额：1700.0 万元（人民币）br//pp采用单一来源采购方式的原因及说明:/pp （1）、采用单一来源采购方式的原因及相关说明：/pp化学机械抛光（CMP）是芯片制造的五大关键技术之一，其装备与工艺技术在国内长期处于空白。国内近年来也取得了较大的进步，如华海清科等公司只有8寸机， 6寸机需要定制，加价幅度较大（没有明确），没有6寸铌酸锂/钽酸锂工艺经验。/pp 尽管中国大陆地区的CMP设备市场规模较大，但高端CMP设备均依旧依赖于进口，前三大厂家应材公司、荏原公司、东京精密。应用材料的CMP设备是8寸制程开始，6寸制程现阶段只有研磨头，不配备清洗功能，且没有SAW滤波器的经验。荏原（Ebara）公司的CMP设备，有6寸支撑，至今为止，还未在大陆的SAW滤波器厂家有过购买使用经验，国能销售以及技术支持团队不能保证碎片率。东京精密的CMP设备在SAW滤波器行业具有广泛的应用，国外如村田、太阳诱电、RF360等高端滤波器厂家，都在使用其相关设备。/ppTC-SAW器件对于CMP工艺的要求较高，一直也是国内滤波器产业需要突破的技术难题，必须要求厂家具有相关的经验，且对设备具有相关的改造经验。经详细调研，东京精密的CMP设备在SAW滤波器厂家具有广泛的应用，且能够满足研发需求，所以，申请单一来源。/pp （2）各专家对相关供应商因专利、专有技术等原因具有唯一性的具体论证意见，专家的姓名、工作单位和职称：/pp专家1：姓名 蒋侬辉 工作单位 广东农科院 职称 副研 意见： 同意/pp专家2：姓名 丘麒 工作单位 华南农业大学 职称 高工 意见： 同意/pp专家3：姓名 袁敏 工作单位 华南师范大学 职称 高工 意见： 同意/pp专家4：姓名 严丽 工作单位 广东轻工职业技术学院 职称 高工 意见： 同意/pp专家5：姓名 姚宇江 工作单位 华南师范大学 职称 高工 意见： 同意/pp （3）专家小组综合意见：/pp该项目采购设备之化学机械研磨机（CMP），经市场调研，满足采购人技术需求的供应商只有一家，为满足采购人的科研需求，建议使用单一来源采购方式进行。/pp二、拟定供应商信息br//pp 名称：苏州阿尔泰克电子科技有限公司/pp 地址：苏州高新区科发路101号520室/pp三、公示期限/pp 2020年08月17日 至 2020年08月24日 （公示期限不得少于5个工作日）/pp公告链接：a href="http://www.ccgp.gov.cn/cggg/dfgg/dylygg/202008/t20200817_14846803.htm" target="_blank"中国政府采购网/a/ppbr//p