接触模式

GB6672接触式薄膜测厚仪应用范围适用于塑料薄膜、薄片、纸张、箔片、硅片等各种材料的厚度精确测量。主要特点1. 接触式测量原理2. 德国测厚传感器3. 工业 TFT 屏，触摸屏操作4. 零导航深度的扁平化界面 UI，操作更加方便快捷5. 真彩色液晶显示试验数据、结果6. 手动、循环、预约定时多种测量模式7. 测试过程全自动完成8. 本机内置历史数据查询功能9. 配置微型打印机，可自动打印单次、统计报告10. 配置标准通信接口11. 可支持 DSM 实验室数据管理系统，实现数据统一管理（选购）技术指标测量范围：0～2mm（标配） 0～10mm（可选）分 辨 率：0.1μm测量速度：1~25 次/min（可调）测 量 头：薄膜：50mm2，17.5±1kPa（标配）纸张：200mm2，50±1kPa（可选）电 源：AC 220V 50Hz外形尺寸：330 mm (L)×285 mm (B)×370 mm (H)净 重：38kg执行标准GB/T 6672、GB/T 451.3、GB/T 6547、ASTM D645、ASTM D374、ASTM D1777、TAPPI T411、ISO 4593、ISO 534、ISO 3034、DIN 53105、DIN 53353、JIS K6250、JIS K6328、JIS K6783、JIS Z1702、BS 3983、BS 4817产品配置标准配置：主机、薄膜测量头、微型打印机、标准量块一件选 购 件：纸张测量头、自动进样装置、配套软件、通信电缆、标准量块、DSM 实验室数据管理系统。

中图仪器CP系列接触式膜层厚度台阶仪采用接触式测量方式，主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。产品结构主要组成部分1、测量系统（1）单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。（2）线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。（3）传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。2、工件台（1）精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台，可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整。（2）超高直线度导轨，有效避免运动中的细微抖动，提高扫描精度，真是反映工件微小形貌。3、成像系统500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上，使得测量更加直观。4、软件系统测量软件包含多个模块。5、减震系统防止微小震动对测量结果的影响，使实验数据更加准确。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料；2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数；3）翘曲与形状：能够测量样品表面的2D形状或翘曲，如在半导体晶圆制造过程中，因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化，或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。2.数采与分析系统1）自定义测量模式：支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式；2）导航图智能测量模式：支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。3）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.光学导航功能配备了500W像素的彩色相机，可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示，进行即时的高精度定位测量。4.样品空间姿态调节功能CP系列接触式膜层厚度台阶仪配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴，可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节，提高测量精度及效率。CP系列接触式膜层厚度台阶仪应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。典型应用在太阳能光伏行业的应用台阶仪具有超微力可调和亚纳米级分辨率，对ITO膜厚进行测量，其厚度范围从十几纳米到几百纳米，测量的同时不损伤样件本身。针对测量ITO导电薄膜的应用场景，CP200台阶仪提供如下便捷功能：1）结合了360°旋转台的全电动载物台，能够快速定位到测量标志位；2）对于批量样件，提供自定义多区域测量功能，实现一键多点位测量；3）提供SPC统计分析功能，直观分析测量数值变化趋势；部分技术指标型号CP200测量技术探针式表面轮廓测量技术样品观察光学导航摄像头:500万像素高分辨率 彩色摄像机,FoV,2200*1700μm探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）台阶高度重复性5 &angst , 量程为330μm时/ 10 &angst , 量程为1mm时（测量1μm台阶高度，1δ）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

这款Coatmaster Flex手持非接触式测厚仪是涂层厚度无损测量技术的一次创新优化，其重量轻、测量简便的优点能协助您在工艺早期测量涂层厚度，避免出现严重的生产缺陷。国外已经有多家知名企业正在使用，并对其十分赞赏。即时膜厚测量仪---去除喷涂工作中的猜测！喷涂应用对环境条件的改变非常敏感，不达标的膜厚将直接影响喷涂产品的外观和性能。因此，快速精准地测量膜厚是质量控制的重要一环，涂魔师无接触膜厚测厚仪是适用于任何工业环境下的膜厚测量仪，采用先进的光热法（ATO），零危险排放，操作无需担心，可检测湿的未烘烤的粉末、油漆涂层、粘胶剂以及金属、橡胶上的电泳涂层。涂魔师Flex非接触式手持膜厚测量仪好在哪里？?轻松应对任何工业环境1.可检测湿的、未经固化的和固化后的粉末、油漆涂层、粘胶剂以及金属、橡胶的电泳涂层等2.无论何种工件形状与尺寸，均可显示精确读数3.非接触式无损测量，可在距离2-15cm范围内进行检测4.使用先进的光热法(ATO)，无危险物质排放，即用即显，操作方便?链接云端数据库，性能加倍1.可链接云端数据，在线分析膜厚测量数据2.可存储数据以供历史参考，或通过任何已连接的测量仪分析生产性能3.在线输出膜厚趋势、图表和报告，也可以实时直接传入ERP/MES系统，分析各班次的喷涂膜厚，优化工艺注：云端分析需连接网络/Wi-Fi远程非接触式测试Coatmaster Flex手持非接触式测厚仪基于光热法测量原理，测温镜头外围为电脑控制的脉冲闪光灯，测量过程中闪光灯会对所测的涂层进行加温。表面温度随着时间的变化过程将提供涂层厚度的有关信息。无需与产品表面接触、也无需等待涂层完全干透即可测量涂层厚度。不限底材形状由于无需与产品进行接触测试，Coatmaster Flex手持非接触式测厚仪可用于各种复杂表面工件的涂层厚度检测使用。 而且不受底材的材质限制，可用于金属，塑料，橡胶，木材，碳纤维(CFRP), 玻璃等多种基材。不限涂层颜色使用Coatmaster Flex手持非接触式测厚仪进行测试不会受到涂层颜色的影响。除常规涂层之外，也可用于润滑剂和聚合物涂层、湿膜、粉末涂料、粘合剂、热喷涂涂层等的测试。手持式设计，易于携带手持式的设计使得Coatmaster Flex手持非接触式测厚仪的使用和携带十分方便。 避免返工修补和客户拒收在工艺早期能发现偏差并及时进行修正。节省材料减少高达30%的涂层材料消耗量。有效节约资源和保护环境。保证产品质量生产高质量涂料并协助制定新的质量标准。技术参数固化粉末/干膜1~1000μm干燥前湿漆1~400μm未固化粉末涂料1–400μm测量时间0.25 s测量距离2–15 cm允许倾斜角度± 70°测量移动工件可以相对标准偏差 1%适用于所有颜色(包括白色)可以通过ERP和浏览器实时访问数据可以重量（不含电池）1.3 kg尺寸374 mm x 91 mm x 203 mm