ta7000 高纯气体分析仪生产过程中的关键链接Trace Analytical &trade ta7000, 由AEMTEK Process Instruments生产, 专门设计的采样系统、高灵敏度检测器和分析电子器件。有两个型号---ta7000R和ta7000F,检测器不同,每个型号分析不同组分。? ta7000R 检测H2, CORGD (还原气体检测器) 检测限:低于500ppt? ta7000F 检测CO2, 甲烷和非甲烷烃FID (火焰离子化检测器) 检测限:低于500ppt随着半导体技术的发展,晶圆生产过程越来越复杂要求越来越高。为保护产品质量和产能,需要达到标准的高纯度气体。ta7000分析高纯气体中杂质含量,满足半导体工业的最新要求。
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