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矽万(上海)半导体科技有限公司,和其合作伙伴荷兰4PICO公司共同研发的PicoMaster系列无掩模激光直写光刻机,具有高分辨率、3D灰度光刻能力、设计灵活等优点,目前在全息防伪、半导体、微纳光学器件、光学衍射器件、微流控芯片、MEMS器件等领域具有广泛的科研院所和企业客户群体。 本报告将集中介绍PicoMaster无掩模激光直写光刻机的技术和应用。该产品采用405纳米激光光源和针对i-line光刻胶的375纳米激光光源,实现业界最高的250纳米光刻分辨率,利用红光激光控制器实现+/-300微米范围的自动聚焦。 同时,我们对客户提供包括涂胶、光刻、显影、测量在内的全套工艺解决方案,针对全息防伪应用提供最先进的全息设计软件,这里我们还会展示针对不同应用的加工样品。
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在涉氯工业过程不可避免产生了较大量的含氯废弃物/污染物,成为制约相关产业可持续发展的重要瓶颈。本报告将从涉氯工业过程资源循环利用催化过程以及含氯多相态污染物临氧裂解一体化净化新技术构建两个方面展开,通过开发产品生产与污染治理一体化技术和装备,打造化工污染防治的系统解决方案,实现化工污染采用化工技术、在化工装置内部解决的“产治一体化”。
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通过硅光技术促进光电子和微电子的融合成为当前的重要研究方向。其中极具产业化前景的技术路线之一是在硅晶圆上外延生长III-V族光电子器件。本报告主要介绍(1)通过阴极电流成像、阴极发光成像表征硅基III-V族薄膜中的缺陷及其对III-V/Si级联太阳能电池、片上光源性能的影响;(2)真空互联系统对III-V/Si外延集成可能带来的变革。
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对电子束发展历史、基本原理和国内的发展现状进行了简单介绍。
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介绍HORIBA科学仪器部的多种分析技术在半导体材料表征中的应用,主要包括光谱类分析技术,如光致发光、拉曼、椭圆偏振光谱及辉光放电光谱技术等在表征半导体材料的应力、缺陷、杂质含量、薄膜厚度以及镀层各元素随深度的分布等案例;还包括晶圆平坦化中使用的CMP研磨材料粒径测量以及硅片中氧含量测量等应用介绍。
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随着集成电路制造技术的不断发展,对于其所使用的材料要求也不断提高,其中无机元素含量已成为半导体材料品质控制中最为重要的指标之一。但对于硅及先进半导体材料、光刻胶、特种气体等,其中无机元素的超痕量分析都存在着不小的挑战。安捷伦ICP-MS的发展持续关注半导体行业的测试需求,为半导体材料分析提供可靠的解决方案。
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1. 电子级水在半导体材料生产、芯片制造过程中的应用及其影响
2. 电子级水与普通超纯水的区别及其检测要点
3. Milli-Q电子级水整体解决方案
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梅特勒-托利多是历史悠久的精密仪器及衡器制造商与服务供应商,产品适用于实验室、制造业和零售服务业。针对半导体行业推出的高精度、自动化检测方案,有效控制各项工艺平稳运行,助力半导体行业先进制程发展。
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半导体行业是中国现在在积极发展的一个行业,从上游的原材料到下游的最终产品,均需要协调发展。离子色谱、气相色谱、等离子体质谱等产品在半导体的制造及上下游相关行业均可用于生产过程和最终产品质量检测,例如离子色谱可以用于厂房空气和水质中的水溶性离子检测,气相色谱可以用于厂房的挥发性有机物检测,等离子体质谱可以用于生产原料的痕量金属检测……我们将展示这些解决方案的实际效果。
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半导体的制程,主要包括前段的制造和后段的封装。前段制造过程,需要保证各种化学品的高纯度;后段封装过程,涉及多种材料的性能测试,从而保证产品质量。PerkinElmer作为分析检测仪器领域的领导者,拥有丰富的半导体行业经验,不论是晶圆、化学品、金属靶材、纯净水等材料的高纯度分析,还是实验室中AMC的监控,不论是影响器件质量的微观污染物分析,还是封装过程的性能测试,PerkinElmer都可提供高性能的解决方案。最新发布的多重四级杆ICP-MS NexION 5000,更为最苛刻的痕量元素分析提供了解决方案。