矽万（上海）半导体科技有限公司，和其合作伙伴荷兰4PICO公司共同研发的PicoMaster系列无掩模激光直写光刻机，具有高分辨率、3D灰度光刻能力、设计灵活等优点，目前在全息防伪、半导体、微纳光学器件、光学衍射器件、微流控芯片、MEMS器件等领域具有广泛的科研院所和企业客户群体。 本报告将集中介绍PicoMaster无掩模激光直写光刻机的技术和应用。该产品采用405纳米激光光源和针对i-line光刻胶的375纳米激光光源，实现业界最高的250纳米光刻分辨率，利用红光激光控制器实现+/-300微米范围的自动聚焦。 同时，我们对客户提供包括涂胶、光刻、显影、测量在内的全套工艺解决方案，针对全息防伪应用提供最先进的全息设计软件，这里我们还会展示针对不同应用的加工样品。
