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离子束在线处理
去除工件表面吸附的水分子和碳氢化合物,激活表面原子,产生化学键结合,增强薄膜附着力。
等离子体光谱闭环控制
在线调整反应气体的浓度,避免靶材中毒,调整薄膜的成分,保证工艺一致性和重复性。
离子束辅助技术
增加反应气体活度,控制薄膜成分,实现低温高速率沉积,增加薄膜密度,降低内应力,改善薄膜的生长、优化薄膜结构。
北京镨玛泰克真空科技有限公司是一家专业提供PVD涂层设备和技术以及涂层加工服务的专业公司,拥有自有知识产权,提供的模具和刀具涂层具有硬度高,耐磨性好,化学性能稳定,耐高温氧化,低摩擦和热导率低等特点,可以提高模具和刀具的使用寿命.
+ 全开放真空室便于更换工件
+ 功能单元可开放维护
+ 反应气体的闭环控制技术
+ 重载偏压工件架避免污染
+ 工艺过程的自动化控制
+ 提供工艺技术支持
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