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+ 增透膜
+ 眼镜镀膜
+ 光纤光学
+ 高反镜
+ 热/冷反光镜
+ 低漂移滤波器
+ 带通滤波器
+ 在线清洗
+ 类金刚石沉积
作 用
+ 改善薄膜的生长、优化薄膜结构
+ 增加镀膜的一致性和重复性
+ 低温高速率镀膜
+ 清除工件表面水和碳氢化合物
+ 增加薄膜密度
+ 降低内应力低
+ 清除结合力弱的分子
+ 反应气体活度增加
+ 薄膜成分易于控制
特 点
+ 结构先进
+ 工作稳定
+ 耐高温环境
+ 适用反应气体
+ 等离子体束流大
+ 均匀性强/能量可调
+ 样品悬浮电位显示
+ 安装简便/运行成本低
+ 维护操作简单
+ 增透膜
+ 眼镜镀膜
+ 光纤光学
+ 高反镜
+ 热/冷反光镜
+ 低漂移滤波器
+ 带通滤波器
+ 在线清洗
+ 类金刚石沉积
作 用
+ 改善薄膜的生长、优化薄膜结构
+ 增加镀膜的一致性和重复性
+ 低温高速率镀膜
+ 清除工件表面水和碳氢化合物
+ 增加薄膜密度
+ 降低内应力低
+ 清除结合力弱的分子
+ 反应气体活度增加
+ 薄膜成分易于控制
特 点
+ 结构先进
+ 工作稳定
+ 耐高温环境
+ 适用反应气体
+ 等离子体束流大
+ 均匀性强/能量可调
+ 样品悬浮电位显示
+ 安装简便/运行成本低
+ 维护操作简单
+ 增透膜
+ 眼镜镀膜
+ 光纤光学
+ 高反镜
+ 热/冷反光镜
+ 低漂移滤波器
+ 带通滤波器
+ 在线清洗
+ 类金刚石沉积
作 用
+ 改善薄膜的生长、优化薄膜结构
+ 增加镀膜的一致性和重复性
+ 低温高速率镀膜
+ 清除工件表面水和碳氢化合物
+ 增加薄膜密度
+ 降低内应力低
+ 清除结合力弱的分子
+ 反应气体活度增加
+ 薄膜成分易于控制
特 点
+ 结构先进
+ 工作稳定
+ 耐高温环境
+ 适用反应气体
+ 等离子体束流大
+ 均匀性强/能量可调
+ 样品悬浮电位显示
+ 安装简便/运行成本低
+ 维护操作简单
