应用中的显著特征:
● 高档四极质谱仪
● 最新电子技术
● 分立部件,模块化,多样化,可扩展设计
● 可在极超高真空条件下分析
● 可实现定性/定量气体分析
● 可实现快速分析
● 可配离子计数器,分析单个离子
● 质量数范围:最高可达2048amu
● 可实现多路控制
QMG700技术参数:
质量数范围(最大) amu 1~2048
检测器 法拉第筒/90度离轴二次电子倍增器
检测极限 mbar <1 × 10-11/5 × 10-15
灵敏度 A/mbar <2 × 10-4/1000
最大工作压强 mbar 10-4/10-5
离子源 开式,闭式,交叉束,珊网,能量透镜等
应用领域:
● 真空残余气体分析 ● 超高真空残余气体分析
● 溅射过程气体分析 ● 等离子体过程气体分析
● 蒸发材料气体分析 ● 在线气体分析
● 微量夹杂气体分析 ● 呼吸气体分析
● 充气气体成分分析 ● 同位素分析
● 光学镜片清洁度检测 ● 电子显微镜水分检测
● 半导体基片清洁度检测
QMG700 + QUADERA---最新分析型质谱
QMG700+QUADERA
