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GAM500UT---超纯气体分析质谱仪
应用中的显著特征:
●GAM500是专门为检测超纯气体中的痕量气体而设计,亦可实现其他各种通用性分析
●非常清洁的进样系统
●非常高的灵敏度
●可同时分析混合气体中常量和微量组份
●分析超纯气体中的痕量杂质
●气密交叉束离子源
●动态量程范围跨度广(从%到ppb,近10个量级)
●分析速度快.能够在数秒钟之内,高精度,高准确度的检测痕量气体在混合物中的浓度的最小变化.
GAM500UT在超纯气体中的检测极限*:
H2 <500ppb
H2O <300ppb
N2&CO <100ppb
CO2 <10ppb
Ar <10ppb
He <10ppb
O2 <10ppb
*:检测极限包括系统误差和随机误差以及电子学背底(一般小于
0.5ppb).误差可能会和应用相关.
适用范围:
超纯气体分析,用于超纯N2,He,Ne,Ar,Kr,Xe气体的组分分析
