多功能溅射、电子束和热蒸发沉积平台
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科特莱思科

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PRO Line PVD 75

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其他

  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

PRO Line PVD 75
多功能溅射、电子束和热蒸发沉积平台

Kurt J. Lesker Company PRO Line PVD 75 是基于主力 PVD 75 平台的下一代薄膜沉积系统。PVD 75 在全球拥有 400 多台设备,是一款久经考验、坚固耐用且用途广泛的设计。PRO Line PVD 75 建立在原始设计的成功基础上,改进了系统基础压力和抽空时间。技术的腔室设计、具有高级编程功能的行业最佳软件控制系统、自动基板加载以及用于优化薄膜性能的众多功能是这种创新的设计提供的一些关键优势。®

规格

箱形304L不锈钢腔体

内部尺寸:
15.25“ 宽 x 16.50” 深 x 24“ 高
(387.4mm x 419.1mm x 609.6mm)

铝,O 形圈密封,铰链,前检修门


沉积技术

热蒸发

最多四艘 4 英寸的单艘船,或六艘 2 英寸的船组件


TORUS 磁控溅射源

多达 6 个 2 英寸或 3 英寸光源

多达 4 个 4 英寸信号源


电子束蒸发源

4 口袋 8cc

8 口袋 12cc

6 口袋 20cc


LTE10 有机沉积源

最多两个 10cc 源


沉积方向

热蒸发

向上


TORUS 磁控溅射源

向上、向下或侧溅射


电子束蒸发

向上


LTE有机沉积

向上


底物操作

旋转、加热、冷却、偏置、负载锁定兼容


电源

DC、PDC、RF、MF 和 HIPIMS 电源


售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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科特莱思科物理气相沉积PRO Line PVD 75的工作原理介绍

物理气相沉积PRO Line PVD 75的使用方法?

科特莱思科PRO Line PVD 75多少钱一台?

物理气相沉积PRO Line PVD 75可以检测什么?

物理气相沉积PRO Line PVD 75使用的注意事项?

科特莱思科PRO Line PVD 75的说明书有吗?

科特莱思科物理气相沉积PRO Line PVD 75的操作规程有吗?

科特莱思科物理气相沉积PRO Line PVD 75报价含票含运吗?

科特莱思科PRO Line PVD 75有现货吗?

多功能溅射、电子束和热蒸发沉积平台信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于多功能溅射、电子束和热蒸发沉积平台报价、型号、参数等信息,深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话:400-860-5168转5919,欢迎来电或留言咨询。
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