气相分解金属沾污收集(VPD)设备
气相分解金属沾污收集(VPD)设备

面议

暂无评分

鲁玟

暂无样本

Seehund® A 系列

--

中国大陆

  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

Seehund® A型气相分解金属沾污收集设备(VPD)是专为集成电路制造、大晶圆生产及再生、先导工艺研发等行业提供金属沾污控制方案的产品。由于目前的晶圆制造产业对金属沾污控制的要求已经远远低于TXRF和ICP-MS能够测量的极限,需要采用VPD对晶圆表面沾污做富集,才能突破检测灵敏度极限,满足晶圆产线的需求。该设备采用了12英寸及8英寸产线设备所通用的国际标准零部件,符合SEMI的设计标准,并经过了严苛的稳定性和可靠性测试验证。


气相分解金属沾污收集(VPD)设备

系统特性

  • 12英寸/8英寸兼容,应用于IC制造,12英寸大晶圆生产和再生,先导工艺研发等领域

  • 采用托盘可实现6英寸兼容

  • 可搭配电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)或全反射荧光光谱分析仪(TXRF)

  • VPD 与 ICP-MS或TXRF组合,可将检测灵敏度提高2个数量级,满足上述领域的痕量金属沾污监控需求

售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

用户评论
暂无评论
问商家

鲁玟其他半导体检测仪Seehund® A 系列的工作原理介绍

其他半导体检测仪Seehund® A 系列的使用方法?

鲁玟Seehund® A 系列多少钱一台?

其他半导体检测仪Seehund® A 系列可以检测什么?

其他半导体检测仪Seehund® A 系列使用的注意事项?

鲁玟Seehund® A 系列的说明书有吗?

鲁玟其他半导体检测仪Seehund® A 系列的操作规程有吗?

鲁玟其他半导体检测仪Seehund® A 系列报价含票含运吗?

鲁玟Seehund® A 系列有现货吗?

气相分解金属沾污收集(VPD)设备信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于气相分解金属沾污收集(VPD)设备报价、型号、参数等信息,深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话:400-860-5168转5919,欢迎来电或留言咨询。
移动端

仪器信息网App

返回顶部
仪器对比

最多添加5台