看了等离子体刻蚀设备的用户又看了
Pishow® D 系列深刻蚀设备，是针对8英寸~6英寸产线或科研深硅刻蚀工艺的专用设备，拥有自主开发的优化设计，保证了优异的刻蚀精度控制和损伤控制。
提供Si Bosch工艺的解决方案。
该设备高性价比的解决方案和优秀的空间利用率，可帮助不同客户实现产能升级。
8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀（ICP-DSE）设备
系统特性
Pishow® D 系列是采用深硅刻蚀技术的电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备
提供Bosch解决方案，实现对Si的高深宽比刻蚀
优化的气柜设计，缩短进气距离，最短工艺切换时间小于1.0秒
Pishow® D 系列可选择8~4英寸晶圆，提供单腔式和多腔式等多种腔室搭配方式
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
鲁玟等离子体刻蚀Pishow® D 系列的工作原理介绍
等离子体刻蚀Pishow® D 系列的使用方法?
鲁玟Pishow® D 系列多少钱一台?
等离子体刻蚀Pishow® D 系列可以检测什么？
等离子体刻蚀Pishow® D 系列使用的注意事项？
鲁玟Pishow® D 系列的说明书有吗？
鲁玟等离子体刻蚀Pishow® D 系列的操作规程有吗？
鲁玟等离子体刻蚀Pishow® D 系列报价含票含运吗？
鲁玟Pishow® D 系列有现货吗？
