看了划片机的用户又看了
4",空气轴承主轴,直流无刷,转速高达30krpm。
兼容 4"-5" 刀片。覆盖最大8"的圆形晶圆或253mmX 243mm方形产品。
针对各种产品进行优化,如:
• 厚玻璃晶片
• 薄膜设备
• 陶瓷和氧化铝
•PCB
•QFN和BGA塑封体
系统规格:
工件尺寸:最大∅300 mm或253mmX 243mm方形产品
刀片尺寸:4"-5"
主轴:空气轴承,直流无刷,30 krpm/2.5 kW
分度轴(Y)
驱动装置:滚珠轴承丝杆,配步进电机
控制:线性编码器
分辨率:0.1 µm
累积精度 (∅300): 3µm
分度精度:1.0 µm
传送轴(X)
驱动装置:滚珠轴承丝杆,配直流无刷电机
传送速度:高达 600 mm/sec
切割深度轴(z)
驱动装置:滚珠轴承丝杆,配直流无刷电机
分辨率:0.2 µm
重复精度:1.0 µm
旋转轴 (θ)
驱动:闭环、直接驱动、直流无刷
分辨率:4 arc-sec
行程:350度
视觉系统
数字摄像头
高亮LED照明(直射和斜射)
持续数字变焦:x 70 - x 280 或 50 - x 200(可选)
清洗台
冲洗和干燥循环
旋转速度:100-2,000 RPM
清洗方法:二流体/雾化功能
晶圆处理系统
插槽至插槽完整性和首检抽屉
可选件
BBD(破刀探测器)
紫外线固化
ESD(防静电)套件
条形码读取器
磨刀台
360°旋转台
SECS-GEM 主机通信
用户界面
17" 平面触摸屏
新用户界面(NUI)
多语言支持
键盘与鼠标
设施
电气:200-240VAC,50/60Hz,单相
气源/N2:700 L/分 @ 5.5 bar
500 L/min 压缩空气,200 L/min 制程气体/N2
主轴冷却水:1.1 L/min
切割用水(去离子水/厂务端用水):刀片/过程冷却水:最高7L/min
尺寸(WXDXH):
1,100 x 1,785 x 1,700 mm
重量:1,350 kg
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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