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KAINOVA
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Kainova Tech - 晶圓倉儲與包裝自動化
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性能规格 最大储量：87个晶圆堆叠盒(2175片晶圆) 处理速度：180 WPH以上 ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)
设备特色
．市场唯一N2环境晶圆堆叠盒仓储与晶圆分拣整合设备
．全自动拆包晶圆堆叠盒，双线拆包，换盒无需等待
．对应所有晶圆堆叠盒 ，并可自动开上盖
．依制程Recipe需求，按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置
．对应12吋晶圆
性能规格
．最大储量：87个晶圆堆叠盒(2175片晶圆)
．处理速度：180 WPH以上
．ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)
性能规格
．最大储量：8个独立N2晶圆堆叠盒储位
．处理速度：180 WPH以上
．ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)
设备特色
．市场唯一晶圆堆叠盒包装、拆包及晶圆分拣整合设备
．全自动包装与拆包晶圆堆叠盒，双线包装及拆包，换盒无需等待
．对应所有晶圆堆叠盒 ，并可自动开阖上盖
．依制程Recipe需求，按照Wafer ID进行排序、分批、并批、或传到指定晶圆盒位置
．兼容8吋、12吋、薄化晶圆
性能规格
．处理速度：180 WPH以上
．ISO Class 4洁净度(FS-209E Class 10)
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 1次免费培训
免费仪器保养: 可协商
保内维修承诺: 保内免费维修
报修承诺: 3个工作日
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