美国MicroManipulator探针台
Micromanipulator成立于1956年,是半导体探针台以及相关组件的领导供应厂商。拥有超过50年的分析型探针台经验,在设计、测试以及生产技术和能力水平上的不断发展,使其能够配合所有的测试系统实现不同要求的分析以及测试。主要应用在失效分析、晶圆级可靠性、器件特性分析、工艺监控、平板测试、MEMS分析、高电压、RF及高频、光学器件、及ESD测试。可配合使用的附件包括温度范围为-65到400摄氏度的thermal chuck、显微镜、防震台、防光罩、激光器、针座、探针等。
半自动型探针台:Micromanipulator P300A
● 300mm的平台
●易于使用的电动/手动操作
● Wafer Map 功能
● X-Y-Z行程:300X300mmX150mm,0.1um移动精度
● 显微镜X-Y-Z移动范围100 x 100 x 200mm