自动化度: 全自动
方块电阻测量范围: 5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq
方阻测量精度: +/- 1%
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Filmetrics的薄膜电阻测量设备开发源自于有着超过30年经验的KLA的薄膜电阻计量技术,并由20年台式测量设备开发经验的Filmetrics团队完善了桌面式方块电阻测量产品。KLA薄膜电阻测量技术包括接触(4PP)和非接触(EC)方法。
Filmetrics的R50系列方块电阻测量仪器可测量沉积在各种基材上的导电片和薄膜,跨越10个数量级范围电阻率,包括:
半导体晶圆基板
玻璃基板
塑料(柔性)基材
PCB图案特征
太阳能电池
平板显示层和图案化特征
金属箔
二、主要功能
l 技术规格
测量范围:5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;
测量精度: +/- 1%;
重复度: 小于 0.2%;
样品图中无限量的测量点位,自定义测量Recipe,可线性、矩形、
极坐标以及自定义等。
Model | Description |
R50-4PP | 四探针测试 自动XY移动台-100mm*100mm 可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping测量 可放置直径200mm晶圆样品 |
R50-EC | 非接触涡流测试 自动XY移动台-100mm*100mm 可实现直接100mm晶圆方块电阻mapping非接触测量 可放置直径200mm晶圆样品 |
R50-200-4PP | 四探针测试 自动XY移动台-200mm*200mm 可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping测量 |
R50-200-EC | 非接触涡流测试 自动XY移动台-200mm*200mm 可实现直接200mm晶圆方块电阻mapping非接触测量 |
三、应用
支持广泛的测量,包括但不限于以下各项:
金属膜厚度、基板厚度、方块电阻、电阻率、电导率、掺杂浓度等。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: I人技术服务
免费仪器保养: 暂无
保内维修承诺: 免费维修服务
报修承诺: 24小时内响应
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KLA Instruments科磊仪器部
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