自动化度: 手动
方块电阻测量范围: 1mΩ/sq – 200MΩ/sq
方阻测量精度: ±1%
电阻率测量范围: N/A
电阻率测量精度: ±1%
基板尺寸: 4寸-12寸
测试电流范围: N/A
测试电流精度: N/A
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名称:四探针电阻测量仪
图片:
品牌:KLA 集团旗下品牌 Filmetreics
型号:R50
用途:金属膜均匀性分布、离子掺杂和注入表征、薄膜厚度和电阻率分布、以及非接触膜厚等量测。
优势 :
1)接触式四点探针(4PP)和非接触式电涡流(EC)
2) 100mm Z行程,高精度控制
3)导体和半导体薄膜电阻,10个数量级范围适用
4)测试点自定义编辑,包括矩形、线性、极坐标 以及自定义配置
5)200mm XY电动平台
6)RSMapper软件灵活易用
7)兼容KLA所有电阻测试探针
应用市场:
1)半导体
2)化合物半导体
3)先进封装
4)平板和VR显示
5)印刷电路
6)穿戴设备
7)导电材料
8)太阳能
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 1次现场培训
免费仪器保养: 1次
保内维修承诺: 免费更换配件,免费上门
报修承诺: 48小时内到达现场
KLA四探针测试仪Filmetrics R50的工作原理介绍
四探针测试仪Filmetrics R50的使用方法?
KLAFilmetrics R50多少钱一台?
四探针测试仪Filmetrics R50可以检测什么?
四探针测试仪Filmetrics R50使用的注意事项?
KLAFilmetrics R50的说明书有吗?
KLA四探针测试仪Filmetrics R50的操作规程有吗?
KLA四探针测试仪Filmetrics R50报价含票含运吗?
KLAFilmetrics R50有现货吗?
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