产地类别: 进口
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应用:
◆ 薄膜厚度、n值及k值的测量,可应用于任何薄膜生长或者镀膜工艺的监控。
Sopra公司是世界上最知名的椭偏仪设备供应商,其高精度的椭偏仪在半导体、化合物半导体(GaAs/SiC)、LCD及MEMS领域有着非常广泛的应用。目前,全世界有超过500台的Sopra椭偏仪应用于各个行业。
◆ 高精度的薄膜测量(膜厚、n值、k值);
◆ 全世界第一家宽光谱椭偏仪技术的发明者;
◆ VLSI及其他的测试标准均由Sopra标第;
◆ 强扩展性:Fast UV VIS CCD 模式,高分辨率DUV-VIS模式及FTIR/4PP功能。
最多添加5台