自动化度： 半自动
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仪器简介：
真空腔体探针台通过改变温度，光纤，气体，弯曲样品台....等条件在位进行控制和测试多种参数(IV,CV,RF,Impedance)
-液氮(-190度~80K)
-氦(-262度~10K)
-气体:N2,Ar,NH3,O2,H2。。。(MFC 10通道 或更多）
-光纤（250~1200nm波长）
-高温(~1000度）
-弯曲样品台：弯曲半径：~80度
-RF:~67GHz
主要应用：广泛用于半导体、微电子,OLED....的科研和开发。
提供探针台部件，包括：长工作距离显微镜、防震桌、屏蔽箱、探针座及各种探针、高温卡盘、探针卡、RF探头、适配器、线缆；
主要参数：
-主腔室：270dia
-卡盘（chuck) : 70mm 镀金或陶瓷材料，
-低漏电流：<1fA
-真空：1*10-3Torr(可升级到-6torr)
-可视窗口:100mm石英（带有暗盖）
-温度范围可选：液氮，氦.....
-X/Y样品台：分辨率1um
-显微镜&CCD Camera:ＣＣＤ聚焦：400x~1000x(单个物镜）
-防震桌
....
